| 1 | 2단계 증착법으로 제조된 Pb(Zr,Ti)O3 박막의 특성 남효진; 노광수; 이원종, 한국재료학회지, v.8, no.12, pp.1152 - 1157, 1998-04 |
| 2 | 2단계 증착법으로 제조된 Pb(Zr,Ti)O3 압전 박막의 전기적 특성 및 잔류 응력에 관한 연구 김혁환; 이강운; 남효진; 이원종, 한국재료학회지, v.11, no.9, pp.769 - 775, 2001-09 |
| 3 | 2단계 증착법으로 제조한 Pb(Zr,Ti)O3 압전 박막의 전기적 특성 및 잔류 응력에 관한 연구 이원종; 김혁환; 이강운; 남효진, 한국재료학회 2001년도 춘계학술발표강연 및 논문개요집, pp.0 - 0, 2001-05-01 |
| 4 | 3-D Packaging 용 Through-Si Via/Trench의 충진에 관한 연구 = Filling of through-Si Via/Trench for 3-D packaginglink 김창규; Kim, Chang-Gyu; et al, 한국과학기술원, 2012 |
| 5 | 3차원 증착형상 예측을 위한 Computer Simulation 이원종; 권의희, 한국재료학회 춘계학술발표대회, pp.0 - 0, 2000-05-01 |
| 6 | A study on the characteristics of aluminum oxide thin films prepared by ECR PECVD 이원종, 한국세라믹학회지, v.31, no.6, pp.601 - 608, 1994-04 |
| 7 | AES Depth Proiling을 이용한 계면 층의 정량분석 이원종, 한국재료학회 1994 추계학술연구발표회, pp.0 - 0, 1994-01-01 |
| 8 | AlN 압전 박막의 우선 배향성 및 표면 탄성파 특성에 미치는 기판 효과에 관한 연구 = Substrate effects on the preferred orientation and surface acoustic wave characteristics of AlN piezoelectric filmslink 서주원; Soh, Ju-Won; et al, 한국과학기술원, 1997 |
| 9 | Atomic-level surface characterization of organic and inorganic materials = 유기 및 무기물의 원자수준 표면분석link Park, Young-Jae; 박영재; et al, 한국과학기술원, 2013 |
| 10 | Bosch process에 의한 식각형상 예측을 위한 전산모사 이원종; 김창규; 이도선, 한국재료학회 2007 추계학술발표대회, 2007-11-02 |
| 11 | CF4 플라즈마에서 반응성 이온식각한 알루미늄 박막의 표면분석 김동원; 이원종, JOURNAL OF PHOTOCHEMISTRY AND PHOTOBIOLOGY - PART A - CHEMISTRY, v.5, no.4, pp.351 - 357, 1995-04 |
| 12 | CH_3OH 유도결합 플라즈마를 이용한 Magnetic Tunnel Junction 물질의 건식식각특성 연구 = Dry etching characteristics of magnetic tunnel junction materials in CH_3OH inductively coupled plasma systemlink 이민석; Lee, Min-Suk; et al, 한국과학기술원, 2012 |
| 13 | Controlled growth of carbon nanotube arrays from self-assembled block copolymer film 이원종; 이덕현; 신동욱; 김상욱, 한국재료학회 2007 추계학술발표대회, 2007-11-02 |
| 14 | Cu 박막과 SiO2 절연막사이의 TaNx 박막의 접착 및 확산방지 특성 김용철; 이도선; 이원종, 마이크로전자 및 패키징학회지, v.16, no.3, pp.19 - 24, 2009-09 |
| 15 | Cu 확산방지용 TCP MOCVD Ta(Si)N 박막 증착 및 특성에 관한 연구 = Deposition and characterization of TCP MOCVD Ta(Si)N thin films as diffusion barrier for Culink 박혜련; Park, Hye-Lyun; et al, 한국과학기술원, 2002 |
| 16 | Cu-epoxy 계의 접착력에 관한 연구 = A study on the adhesion of Cu-epoxy systemlink 최광성; Choi, Kwang-Seong; et al, 한국과학기술원, 1995 |
| 17 | $Cu_{100-x}Cr_x$ 박막과 폴리이미드의 접착력 연구 = A study on the adhesion of $Cu_{100-x}Cr_x$ thin films deposited on polyimidelink 안은철; Ahn, Eun-Chul; 이원종; 유진; et al, 한국과학기술원, 1996 |
| 18 | CVD 법으로 증착된 PZT 박막의 누설잔류 및 강유전 특성 정수옥; 이원종, 대한금속학회지, v.38, no.11, pp.1559 - 1565, 2000-11 |
| 19 | DC Magnetron Sputtering 방법으로 증착한 Fe-N 박막의 구조와 자기적 성질 이원종; 이종화, 한국재료학회 춘계학술연구발표회, pp.0 - 0, 1993-01-01 |
| 20 | DC Magnetron Sputtering 방법으로 증착한 Fe-N 박막의 구조와 자기적 성질 이종화; 이원종, JOURNAL OF THE KOREAN MAGNETIC SOCIETY, v.3, no.2, pp.87 - 93, 1993-04 |
| 21 | DC magnetron sputttering 방법으로 제조한 Fe-N 박막의 구조와 자기적 성질 = Structure and magnetic properties of Fe-N thin films deposited by DC magnetron sputteringlink 이종화; Lee, Jong-Hwa; et al, 한국과학기술원, 1993 |
| 22 | DLI-MOCVD 법을 이용한 Pb계 강유전막의 저온 증착 변경문; 이원종, 대한금속·재료학회지, v.42, no.1, pp.89 - 95, 2004-01 |
| 23 | DLI-MOCVD법을 이용한 Pb(Zr,Ti)O3 강유전막 증착시 IrO2 하부전극의 열화학적 안정성에 대한 연구 이원종; 변경문; 이도선, 대한금속재료학회 추계학술대회 발표, pp.145 - 145, 2003 |
| 24 | DLI-MOCVD법을 이용한 Pb계 강유전막의 저온증착과 pulsed plasma의 영향에 관한 연구 이원종; 변경문; 이도선, 대한금속재료학회 2003 추계학술대회, 2003-10-23 |
| 25 | DLI-MOCVD법을 이용한 Pb계 강유전체 박막의 저온 증착 = Low temperature metalorganic chemical vapor deposition of Pb-based ferroelectric thin films using direct liquid injection systemslink 변경문; Byun, Kyung-Mun; et al, 한국과학기술원, 2004 |
| 26 | DRO FRAM 개발 연구 이원종, System IC Workshop 2002, 2002 |
| 27 | ECR - PECVD PZT 박막의 전기적 특성에 대한 전극의 영향 이원종, 대한금속학회회보 , v.11, no.5, pp.538 - 545, 1998-04 |
| 28 | ECR enhanced multi-target sputtering 방법으로 제조한 PLT박막의 특성 이원종; 김현효; 김성태, 한국재료학회 추계학술발표, pp.0 - 0, 1995-01-01 |
| 29 | ECR PE-MOCVD법에 의해 증착된 $PbTiO_3$, PLT 박막의 특성에 관한 연구 = A study on the characteristics of $PbTiO_3$, PLT thin films deposited by ECR PE-MOCVDlink 정성웅; Chung, Sung-Woong; et al, 한국과학기술원, 1996 |
| 30 | ECR PECVD 법으로 제조된 AIN 박막의 C축 배향성에 관한 연구 = Preparation of C-axis oriented AIN thin films by ECR PECVD methodlink 장성수; Jang, Seong-Soo; et al, 한국과학기술원, 1995 |
| 31 | ECR PECVD 법으로 제조한 TiN박막의 비저항, 피복성 및 확산장벽특성에 관한 연구 이원종, 한국재료학회 1996 추계학술연구발표회, pp.0 - 0, 1996-01-01 |
| 32 | ECR PECVD 법으로 제조한 고집적 메모리소자 charge storage capacitor용 PLZT박막의 전기적 특성 이원종, 한국재료학회 1996 추계학술연구발표회, pp.0 - 0, 1996-01-01 |
| 33 | ECR PECVD 법을 이용한 PLZT박막의 제조 이원종, 한국재료학회 1995 추계학술연구발표회, pp.0 - 0, 1995-01-01 |
| 34 | ECR PECVD방법에 의한 탄탈륨 산화 박막에 증착 온도 및 열처리 온도가 미치는 영향(초록 No;C-32) 이원종; 이정용; 안성덕; 조복원; 김종석; 김일; 권기원; et al, 한국요업학회 추계학술연구발표회, 1993 |
| 35 | ECR PECVD법에 의한 PbTiO3박막제조 이원종; 노광수; 정성웅; 신중식; 김재환, 한국요업학회 추계학술연구발표회, 한국요업학회, 1993 |
| 36 | ECR PECVD법으로 증착된 lead titanate박막의 조성과 미세구조에 대한 증착변수의 영향 정수옥; 정성웅; 이원종, 한국재료학회지, v.7, no.2, pp.93 - 101, 1997-04 |
| 37 | ECR PECVD법으로 증착한 PZT 커패시터의 전극이 미치는 영향 이원종; 이희철, 한국재료학회 춘계학술발표대회, pp.0 - 0, 2000-05-01 |
| 38 | ECR PECVD법을 이용한 SiOF 박막의 증착 특성 및 유전율 안정화에 관한 연구 = A study on the deposition characteristics and the dielectric stability of the SiOF films deposited by ECR PECVDlink 변경문; Byun, Kyung-Mun; et al, 한국과학기술원, 1999 |
| 39 | ECR PECVD법을 이용한 ULSI DRAM Capacitor용 (Pb,La)(Zr,Ti)$O_3$ 박막의 제조 및 특성 평가 연구 = Fabrication and characterization of ECR PECVD (Pb,La)(Zr,Ti)$O_3$ thin films for the charge storage capacitors of ULSI DRAMlink 신중식; Shin, Joong-Shik; 이원종; 천성순; et al, 한국과학기술원, 1997 |
| 40 | ECR plasma enhanced DC magnetron multi-target sputtering 방법을 이용한 $Pb(Zr,Ti)O_3$ 박막의 제조 및 특성 평가 연구 = Preparation and characterization of $Pb(Zr,Ti)O_3$ thin films by ECR plasma enhanced DC magnetron multi-target sputteringlink 김성태; Kim, Sung-Tae; et al, 한국과학기술원, 1997 |
| 41 | ECR plasma enhanced multi-target sputtering 법을 이용한 Pb(Zr,Ti)O3 박막의 제조 및 특성 평가 이원종; 김성태; 김현호, 한국재료학회 추계학술연구발표회 1996, pp.0 - 0, 1996-01-01 |
| 42 | ECR 산소 플라즈마에 의한 SiO2 박막의 성장 거동 및 전기적 특성 안성덕; 이원종, 한국세라믹학회지, v.32, no.3, pp.371 - 377, 1995-04 |
| 43 | ECR 플라즈마 기상화학증착법에 의한 초고집적 회로의 기억소자용 탄탈륨 산화 박막의 제조 및 특성에 관한 연구 = A study on the tantalum oxide dielectric thin films for memory devices of ULSI by electron cyclotron resonance plasma enhanced chemical vapor depositionlink 김종석; Kim, Jong-Seok; et al, 한국과학기술원, 1993 |
| 44 | ECR 플라즈마 기상화학증착법으로 제조한 초고집적회로 금속화공정의 확산방지용 TiN 박막의 특성 = The characteristics of TiN thin films prepared by ECR-PECVD as a diffusion barrier layer in ULSI metallization processlink 김종석; Kim, Jong-Seok; et al, 한국과학기술원, 1997 |
| 45 | ECR 플라즈마 화학 증착법에 의해 증착된 aluminum oxide 박막의 특성에 관한 연구 = A study on the properties of the aluminum oxide thin film deposited by ECR plasma CVDlink 정성웅; Chung, Sung-Woong; et al, 한국과학기술원, 1992 |
| 46 | ECR 플라즈마 화학기상증착법에 의한 0.12nm SiO2 환산두께를 갖는 Pb(Zr, Ti)O3 유전박막의제조 김재환; 김용일; 위당문; 이원종, 한국재료학회지, v.7, no.8, pp.635 - 639, 1997-04 |
| 47 | ECR 플라즈마를 이용한 $RuO_2$ 박막의 건식 식각특성에 관한 연구 = A study on the dry etching characteristics of $RuO_2$ thin film in electron cyclotron resonance plasmalink 이응직; Lee, Eung-Jik; et al, 한국과학기술원, 1998 |
| 48 | ECR 플라즈마를 이용한 Cu박막의 건식 식각특성에 관한 연구 이원종; 천성순, 한국재료학회 1995 추계학술연구발표회, pp.0 - 0, 한국재료학회, 1995-11 |
| 49 | ECR 플라즈마를 이용한 플라즈마 산화에 관한 연구 = A study on the plasma oxidation using electron cyclotron resonance plasmalink 안성덕; Ahn, Seong-Deok; et al, 한국과학기술원, 1994 |
| 50 | ECR-Mocvd를 이용한 SrTiO3박막의 증착 및 특성 평가 노광수; 이준성; 송한욱; 전병혁; 이원종; 유병곤, 한국요업학회 추계발표대회, 한국요업학회, 1995-01-01 |
| 51 | ECR-PECVD 방법에 의한 탄탈륨 산화 박막에 증착 온도 및 열처리 온도가 미치는 영향 이원종, 한국요업학회 1993 추계학술연구발표회, pp.0 - 0, 1993-01-01 |
| 52 | ECR-PECVD PZT 박막의 FRAM 소자로의 응용에 관한 연구 = The study on the applicaions to FRAM with PZT thin film fabricated by ECR-PECVDlink 정수옥; Chung, Su-Ock; 이원종; 천성순; et al, 한국과학기술원, 2000 |
| 53 | ECR-PECVD Ta2O5 증착시 형성되는 SiO2에 관한 연구 이원종; 안성덕; 김일; 김종석; 권기원; 안성태, 한국재료학회 추계학술발표 1993, pp.0 - 0, 1993-01-01 |
| 54 | ECR-PECVD 법으로 제조한 PZT 박막의 물성 연구 = Characteriszation of PZT thin films prepared by ECR-PECVDlink 김재환; Kim, Jae-Whan; 위당문; 이원종; et al, 한국과학기술원, 1996 |
| 55 | ECR-PECVD 법으로 증착된 $Al_2O_3$ 박막의 증착 특성에 관한 연구 = Deposition characteristics of the ECR-PECVD $Al_2O_3$ thin filmslink 이재균; Lee, Jae-Kuin; et al, 한국과학기술원, 1994 |
| 56 | ECR-PECVD 법으로 증착한 TiN 박막의 Cu에 대한 확산방지막 특성 = The barrier property of ECR-PECVD TiN film against Cu diffusionlink 이수정; Lee, Soo-Jeong; et al, 한국과학기술원, 1997 |
| 57 | ECR-PECVD방법으로 증착된 탄탈륨 산화박막의 전기적 성질에 미치는 증착변수의 영향 이원종; 조복원; 김종석; 김일; 권기원; 안성태, 한국재료학회 추계학술연구발표회1993, pp.0 - 0, 1993-01-01 |
| 58 | ECR-PECVD법으로 증착된 Al2O3절연 박막의 특성에 관한 연구 이원종; 이재균; 전병혁, 한국재료학회 춘계학술연구발표회 1993, pp.0 - 0, 1993-01-01 |
| 59 | ECR-PECVD법을 사용한 ULSI DRAM 용 PZT 박막 제조 김재환; 신중식; 김성태; 노광수; 위당문; 이원종, 한국진공학회지, v.4, no.1, pp.145 - 150, 1995-04 |
| 60 | ECR-PECVD법을 사용한 VLSI DRAM용 PZT박막제조 노광수; 김재환; 신중식; 김성태; 위당문; 이원종, 한국진공학회 추계학술발표대회, 한국진공학회, 1995-01-01 |
