학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 신소재공학과, 2012.8, [ vii,116 p. ]
메탄올; 건식식각; 유도결합 플라즈마; 마그네틱 터널 정션; CH_3OH; dry etch; inductively coupled plasma; magnetic tunnel junction; STT-MRAM; 스핀트랜스퍼토크 자성메모리
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