| 1 | A study on cutoff probe improvement for high density magnetized plasma measurement = 고밀도 자화 플라즈마 측정을 위한 컷오프 탐침 개선 연구link You, Kwang Ho; 유광호; et al, 한국과학기술원, 2015 |
| 2 | A study on the characteristics of RF multi hole cathode CCP discharge in various noble gas = 복수 홀 전극 구조를 갖는 축전 결합 RF 방전 특성에 관한 연구link Lee, Hun-su; 이헌수; et al, 한국과학기술원, 2011 |
| 3 | Characteristics of helicon wave plasmas and application to low dielectric film deposition = 헬리콘 파 플라즈마의 특성 및 저유전율 박막 증착에의 응용link Yun, Seok-Min; 윤석민; et al, 한국과학기술원, 1999 |
| 4 | Control of plasma parameters using grid voltage biasing and inert gas mixing in inductively coupled plasma = 유도결합 플라즈마에서 그리드 및 비활성 기체 혼합을 이용한 플라즈마 변수 제어link Bai, Keun-Hee; 배근희; et al, 한국과학기술원, 2002 |
| 5 | Development of gyrokinetic simulation code for the study of electrostatic drift wave turbulence = 난류성 정전기 표류파 연구를 위한 전산모사 코드 개발link Kwon, Jae-Min; 권재민; et al, 한국과학기술원, 2003 |
| 6 | Development of VHF inductively coupled plasma source and study on the frequency effect of plasma parameters = VHF 유도 결합 플라즈마 원 개발 및 플라즈마 변수들의 주파수 효과에 관한 연구link Jun, Hyun-su; 전현수; et al, 한국과학기술원, 2009 |
| 7 | Investigation of the photodissociation effect by UV illumination in the BTMSM/Ar discharge = BTMSM/Ar 플라즈마에서 자외선조사에 의한 광분해 효과 연구link Jung, Won-Bong; 정원봉; et al, 한국과학기술원, 2007 |
| 8 | KAIST-토카막 플라즈마의 성능향상과 플라즈마 위치 측정에 관한 연구 = Study on improving KAIST-tokamak plasma performance and plasma position measurementlink 권기청; Kwon, Gi-Chung; 최덕인; 장홍영; 최원호; Choi, Duk-In; et al, 한국과학기술원, 2000 |
| 9 | KAIST-토카막의 정상상태 플라즈마 발생 및 운전과 제어에 대한 연구 = On the KAIST-Tokamak operation and control for steady state plasmalink 서성헌; Seo, Seong-Heon; et al, 한국과학기술원, 1999 |
| 10 | KSTAR 초기 플라즈마 진단을 위한 ECE 헤테로다인 수신기 설계 및 제작 = Design and fabrication of an ECE heterodyne radiometer for KSTAR 1st plamsalink 정승호; Jeong, Seung-Ho; et al, 한국과학기술원, 2003 |
| 11 | Langmuir 프로브 시스템 개발과 Pulsed Magnetron 플라즈마의 시간적 특성에 관한 연구 = Developement of Langmuir probe system and study on the temporal behavior of plasma characteristics in pulsed magnetron plasmalink 이상원; Lee, Sang-Won; et al, 한국과학기술원, 2005 |
| 12 | LIF를 이용한 MICP에서의 이온가열 메카니즘 연구 = Study on ion heating mechanism in magnetized ICP with LIFlink 전상현; Jun, Sang-Hyun; et al, 한국과학기술원, 2006 |
| 13 | On ion energy control of dual frequency capacitive coupled plasma for high aspect ratio process = 고 종횡비 공정을 위한 이중 주파수 축전 결합 플라즈마의 이온 에너지 제어 연구link Park, Gi-Jung; 박기정; et al, 한국과학기술원, 2016 |
| 14 | On the behavior of metastable argon atom density in high density Ar discharge = 고밀도 아르곤 플라즈마에서 준안정 아르곤 중성 밀도 거동에 관한 연구link Park, Min; 박민; et al, 한국과학기술원, 2011 |
| 15 | On the characteristics of multiple inductively coupled plasma sources using two coils = 2개의 코일을 이용한 다중 유도 결합 플라즈마 발생 장치의 특성에 관한 연구link Lee, Jin-won; 이진원; et al, 한국과학기술원, 2016 |
| 16 | On the uniformity of electric field controlled plasma sources = 전기장으로 제어된 플라즈마 소스의 균일도에 관한 연구link Lee, Yong-Kwan; 이용관; et al, 한국과학기술원, 2003 |
| 17 | Parallelizability of helicon and inductively coupled plasma sources for large-area processing = 대면적 공정을 위한 헬리콘과 유도결합 플라즈마 소스의 평행화 연구link An, Sang-Hyuk; 안상혁; et al, 한국과학기술원, 2011 |
| 18 | Research on characteristics of the low pressure and low density e-beam plasma and its application to etching process = 저압 저밀도 전자빔 플라즈마의 특성과 에칭 공정 응용에 대한 연구link Bae, In Shik; 배인식; et al, 한국과학기술원, 2017 |
| 19 | Studies of electron heating and transport in a low pressure Inductively coupled plasma = 저압 유도 결합 플라즈마에서의 전자 가열 수송 연구link Chung, Chin-Wook; 정진욱; et al, 한국과학기술원, 2001 |
| 20 | Studies on characteristics of neutral and metastable neutral atom in high density argon plasmas by using laser induced fluorescence and scattering = 레이저 유도 형광 및 산란을 이용한 고밀도 아르곤 플라즈마에서의 중성종 및 준안정 중성종의 특성 연구link Seo, Byong-Hoon; 서병훈; et al, 한국과학기술원, 2014 |
| 21 | Studies on electron heating and transport mechanism in capacitive coupled plasma = 축전 결합 플라즈마의 전자 가열 및 수송 메카니즘에 관한 연구link You, Shin-Jae; 유신재; et al, 한국과학기술원, 2005 |
| 22 | Studies on reactor structure in transformer coupled toroidal plasma = 변압기 결합 토로이덜 플라즈마에서 반응기 구조에 관한 연구link You, Dae Ho; 유대호; et al, 한국과학기술원, 2015 |
| 23 | Studies on the effect of driving frequency in capacitively coupled plasma = 축전 결합 플라즈마에서 구동 주파수의 효과에 관한 연구link Ahn, Seung-Kyu; 안승규; et al, 한국과학기술원, 2008 |
| 24 | Study on electron heating and E-H mode transition in planar inductively coupled plasma = 평판형 유도결합 플라즈마에서 전자 가열 및 E-H 모드 전이에 관한 연구link Seo, Sang-Hun; 서상훈; et al, 한국과학기술원, 2000 |
| 25 | Study on the arcing mechanism in capacitively-coupled plasma = 축전 결합 플라즈마에서의 아킹 메커니즘에 대한 연구link Kim, Yonghoon; 김용훈; et al, 한국과학기술원, 2015 |
| 26 | Study on the characteristics of atmospheric pressure plasma jetsoperated by nanosecond pulses = 나노 초 펄스에서 구동되는 대기압 플라즈마 제트의 특성 연구link Seol, Youbin; 설유빈; et al, 한국과학기술원, 2017 |
| 27 | (The) study of the characteristics of the dual frequency capacitively coupled plasma(DFCCP) = 이중 주파수 용량 결합 플라즈마의 특성 연구link Jeon, Bu-Il; 전부일; et al, 한국과학기술원, 2004 |
| 28 | 고밀도 자화 플라즈마에서의 자발적 진동 및 구조형성 현상에 관한 연구 = Phenomena of self-oscillation and structure formation in high density magnetized plasmalink 허승회; Huh, Song-Whe; et al, 한국과학기술원, 2005 |
| 29 | 그리드전압을 이용한 전자온도제어 및 $CF_4/Ar$ 플라즈마에의 응용에 관한 연구 = Study on controlling electron temperature with grid bias and Its application to $CF_4/Ar$ plasmalink 홍정인; Hong, Jung-In; et al, 한국과학기술원, 1999 |
| 30 | 박막형 실리콘 태양전지 증착을 위한 대면적 고속 증착장비 연구 = Study on the VHF multi-electrode CCP for the microcrystalline silicon thin film solar cellslink 이윤성; Lee, Yun-Seong; et al, 한국과학기술원, 2013 |
| 31 | 병렬 공명 안테나를 이용한 유도 결합 플라즈마 원 개발 및 플라즈마 변수 제어에 관한 연구 = Development of an inductively coupled plasma source using a parallel resonance antenna and study on the plasma parameter controllink 이동석; Lee, Dong-Seok; et al, 한국과학기술원, 2005 |
| 32 | 신공정을 위한 플라즈마 소스의 특성연구와 제어변수의 개발 = On the characteristics of the plasma sources for the new processeslink 엄세훈; Uhm, Sae-Hoon; et al, 한국과학기술원, 2004 |
| 33 | 전자 싸이클로트론 공명 플라즈마 특성 및 중성종에 관한 연구 = Electron cyclotron resonance plasma characteristics and neutral density depletionlink 이평우; Lee, Pyung-Woo; et al, 한국과학기술원, 1997 |
| 34 | 전자빔으로 생성되는 플라즈마의 특성과 전자빔 플라즈마를 이용하여 공정용 가스의 이온 및 활성종 제어에 관한 연구 = Study on the characteristics of electron beam generated plasma and the control of ions and radicals in electron beam generated plasmalink 채수항; Chae, Soo-Hang; et al, 한국과학기술원, 2010 |
| 35 | 컷오프 탐침을 이용한 플라즈마 내에서의 웨이브 투과특성에 관한 연구 = On the wave transmission characteristics in plasma with cutoff probelink 나병근; Na, Byung-Keun; et al, 한국과학기술원, 2012 |
| 36 | 펄스 마그테트론 스퍼터링 소스의 플라즈마 특성과 증착율에 대한 연구 = Characteristics of plasma and deposition rate in pulsed-DC magnetron sputtering sourcelink 인정환; In, Jeong-hwan; et al, 한국과학기술원, 2009 |
| 37 | 펄스 유도결합플라즈마에서 전하입자의 거동에 관한 연구 = Study on the behavior of charged particles in a pulsed inductively coupled plasmalink 이정범; Lee, Jeong-Beom; et al, 한국과학기술원, 2010 |
| 38 | 헬리콘파 플라즈마 발생 및 특성 연구 = Study of helicon wave plasma production and its characteristicslink 김정형; Kim, Jung-Hyung; et al, 한국과학기술원, 1996 |
