학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 물리학과, 2009.2, [ vii, 95 p. ]
Inductively coupled plasma; High frequency ICP; Capacitive electron cooling; Plasma source; Electron temperature; 유도 결합 플라즈마; 고주파 ICP; 축전 전자 냉각; 플라즈마 원; 전자 온도
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.