학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 물리학과, 2016.8 ,[v, i, 92 p. :]
Large area; CCP; LF pulsing; Plasma impedance; Dual frequency; 대면적; 축전 결합 플라즈마; 저주파 펄스; 플라즈마 임피던스; 이중 주파수
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