학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 물리학과, 2016.8 ,[v, 91 p. :]
multiple ICP sourc; pressure; frequency; power distribution; skin depth; 다중 유도 결합 플라즈마; 압력; 주파수; 전력 분배; 표면 깊이
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