학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 물리학과, 2004.8, [ vii, 96 p. ]
장파장; 플라즈마 소스 활성종 균일도 식각단일 모드; 반도체 레이저; SMBCONDUCTOR LASER; CO-EVAPORATION; SBCO; PLASMA SOURCE ICP ETCH RADICALRY
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