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1
(A) study on the kinetic model the thin film growth in ALD = ALD 박막 성장에 관한 동역학적 model 연구link

Lim, Jung-Wook; 임정욱; et al, 한국과학기술원, 2001

2
Atomic Layer Deposition 방법을 이용한 금속 게이트 전극 일함수 조정에 대한 연구 = Study on tuning effective work function of metal gate electrode using atomic layer depositionlink

임성묵; Lim, Sung-Mook; et al, 한국과학기술원, 2013

3
Cu 확산 방지용 TiN의 stuffing 효과에 관한 연구 = A study on the effect of TiN stuffing for Cu diffusion barrierlink

황용섭; Hwang, Yong-Sup; et al, 한국과학기술원, 1998

4
ECR 플라즈마 기상화학증착법으로 제조한 초고집적회로 금속화공정의 확산방지용 TiN 박막의 특성 = The characteristics of TiN thin films prepared by ECR-PECVD as a diffusion barrier layer in ULSI metallization processlink

김종석; Kim, Jong-Seok; et al, 한국과학기술원, 1997

5
ECR-PECVD 법으로 증착한 TiN 박막의 Cu에 대한 확산방지막 특성 = The barrier property of ECR-PECVD TiN film against Cu diffusionlink

이수정; Lee, Soo-Jeong; et al, 한국과학기술원, 1997

6
Effect of Gas Composition on TiN Thin-Film Fabrication in N2/H2/Ar/TiCl4 Inductively Coupled Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition System

Jang, SS; Lee, Won-Jong, JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, v.40, no.8, pp.4819 - 4824, 2001-08

7
Fabrication and characterization of vertically well-aligned PbTiO3/TiN core-shell nanotube arrays = 수직으로 정렬된 $PbTiO_3/TiN$ 코어쉘 나노튜브배열의 제조와 특성 분석link

Yoon, Jae-Sung; 윤재성; et al, 한국과학기술원, 2013

8
Fabrication of TiN/cBN and TiC/diamond coated particles by titanium deposition process

Daoush, Walid M.; Park, Hee S.; Hong, Soon-Hyung, TRANSACTIONS OF NONFERROUS METALS SOCIETY OF CHINA, v.24, no.11, pp.3562 - 3570, 2014-11

9
Formation of equiaxed alpha and titanium nitride precipitates in spark plasma sintered TiB/Ti-6Al-4V composites

Nandwana, P.; Hwang, J. Y.; Koo, M. Y.; Tiley, J.; Hong, S. H.; Banerjee, R., MATERIALS LETTERS, v.83, pp.202 - 205, 2012-09

10
Fracture behavior of brittle thin coating = 취성 박막 코팅의 파괴 현상 연구link

Kim, Young-Gu; 김영구; et al, 한국과학기술원, 2005

11
Fracture resistance and contact damage of TiN particle reinforced Si3N4 ceramics

Tatami, J; Chen, IW; Yamamoto, Y; Komastu, M; Komeya, K; Kim, Do Kyung; Wakihara, T; et al, JOURNAL OF THE CERAMIC SOCIETY OF JAPAN, v.114, pp.1049 - 1053, 2006-11

12
$H_2/Ar/TiCl_4$ 및 $N_2/H_2/Ar/TiCl_4$ 유도결합 플라즈마 CVD 법에 의한 Ti 및 TiN 박막의 증착 특성 연구 = Investigation of the $H_2/Ar/TiCl_4$ and $N_2/H_2/Ar/TiCl_4$ inductively coupled plasma enhanced CVD system for the deposition of Ti and TiN filmslink

장성수; Jang, Seong-Soo; et al, 한국과학기술원, 2001

13
High frequency NEMS resonator based on TiN for Mass/Bio sensors = 질량 및 바이오 센서에 응용 가능한 질화 티타늄을 이용한 고주파 나노 기계적 공진기에 관한 연구link

Jeong, Kil-Su; 정길수; et al, 한국과학기술원, 2010

14
Highly ordered and well aligned TiN nanotube arrays fabricated via template-assisted atomic layer deposition

Yoon, Jae-Sung; Kim, Sang-Joon; No, Kwang-Soo, MATERIALS LETTERS, v.87, pp.124 - 126, 2012-11

15
Improvement in thermal stability of chemical vapor deposition CoSi 2/polycrystalline silicon using tin and amorphous silicon interlayers

Hong J.E.; Kim S.I.; Ahn, Byung Tae; Lee H.S., JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS , v.45, no.2 A, pp.710 - 713, 2006-02

16
MgO 와 TiN 코팅층이 방향성 규소강판의 자기적 특성에 미치는 영향 = Effects of MgO and TiN coatings on magnetic properties of grain oriented silicon steellink

홍대훈; Hong, Dae-Hoon; et al, 한국과학기술원, 2000

17
Nucleation reactions and film growth of copper on TiN using hexafluoroacetylacetonate copper(I) trimethylvinylsilane

Kim, DH; Lee, YJ; Park, Chong-Ook; Park, JW; Kim, JJ, CHEMICAL ENGINEERING COMMUNICATIONS, v.153, pp.307 - 317, 1996-06

18
Oxygen diffusion through RuO2 bottom electrode of integrated ferroelectric capacitors

Ahn, JH; Lee, WJ; Kim, Ho Gi, MATERIALS LETTERS, v.38, no.4, pp.250 - 253, 1999-02

19
Reactive magnetron sputter ion plating법에 의해 증착된 TiN 박막의 특성에 관한 연구 = A study on characteristics of the TiN thin films deposited by reactive magnetron sputter ion plating.link

강희수; Kang, Hee-Soo; et al, 한국과학기술원, 1996

20
Reactive magnetron sputter ion plating법으로 증착된 TiN 박막의 증착 특성 및 침식 특성에 관한 연구 = Deposition characteristics and liquid impingement erosion properties of TiN film fabricated by reactive magnetron sputter ion platinglink

이민구; Lee, Min-Ku; et al, 한국과학기술원, 1998

21
Surface morphology improvement of metalorganic chemical vapor deposition Al films by layered deposition of Al and ultrathin TiN

Ahn, Seong-Deok; Lee, Hyun-Bae; Kang, Sang-Won, JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, v.39, no.6A, pp.3349 - 3354, 2000-06

22
TiN와 Pt전극 위에 증기상 반응 스퍼터링 방법을 통한 $PbTiO_3$ 박막의 제조와 특성분석 = Fabrication and characterization of $PbTiO_3$ thin films deposited on TiN and Pt electrodes via vapor phase reaction sputteringlink

윤석중; Yun, Seok-Jung; et al, 한국과학기술원, 2011

23
TiN와 Pt전극 위에 증기상 반응 스퍼터링 방법을 통한 $PbTiO_3$ 박막의 제조와 특성분석 : Fabrication and characterization of $PbTiO_3$ thin films deposited on TiN and Pt electrodes via vapor phase reacti = Fabrication and characterization of $PbTiO_3$ thin films deposited on TiN and Pt electrodes via vapor phase reactilink

윤석중(Yun, Seok-Jung); et al, 한국과학기술원, 2011

24
TiN의 Cu 확산방지막 특성 및 그 특성 평가 방법에 관한 연구 = The properties and the characterization methods of TiN as a barrier against Cu diffusionlink

이승윤; Lee, Seung-Yun; et al, 한국과학기술원, 1996

25
나노탬플릿과 원자층 증착법을 이용한 정렬된 TiN, $TiO_2$ 일차원 나노구조의 제조와 특성평가 = Fabrication and characterization of aligned TiN, $TiO_2$ one-dimensional nanostructures by nanotemplate and atomic layer depositionlink

김상준; Kim, Sang Joon; et al, 한국과학기술원, 2013

26
반응성 CVD를 이용한 다결정 실리콘 기판에서의 $CoSi_2$ layer의 성장거동과 열적 안정성에 관한 연구 = Growth behavior and thermal stability of $CoSi_2$ layer on poly-Si substrate using reactive chemical vapor depositionlink

김선일; Kim, Sun-Il; et al, 한국과학기술원, 2001

27
원자층 단위 증착법으로 증착된 TiN 증착기구에 대한 모델 연구 = A study of the deposition model about ALD (atomic layer deposition) TiN methodlink

박진성; Park, Jin-Seong; et al, 한국과학기술원, 1999

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