| 1 | (A) study on the kinetic model the thin film growth in ALD = ALD 박막 성장에 관한 동역학적 model 연구link Lim, Jung-Wook; 임정욱; et al, 한국과학기술원, 2001 |
| 2 | Atomic Layer Deposition 방법을 이용한 금속 게이트 전극 일함수 조정에 대한 연구 = Study on tuning effective work function of metal gate electrode using atomic layer depositionlink 임성묵; Lim, Sung-Mook; et al, 한국과학기술원, 2013 |
| 3 | Cu 확산 방지용 TiN의 stuffing 효과에 관한 연구 = A study on the effect of TiN stuffing for Cu diffusion barrierlink 황용섭; Hwang, Yong-Sup; et al, 한국과학기술원, 1998 |
| 4 | ECR 플라즈마 기상화학증착법으로 제조한 초고집적회로 금속화공정의 확산방지용 TiN 박막의 특성 = The characteristics of TiN thin films prepared by ECR-PECVD as a diffusion barrier layer in ULSI metallization processlink 김종석; Kim, Jong-Seok; et al, 한국과학기술원, 1997 |
| 5 | ECR-PECVD 법으로 증착한 TiN 박막의 Cu에 대한 확산방지막 특성 = The barrier property of ECR-PECVD TiN film against Cu diffusionlink 이수정; Lee, Soo-Jeong; et al, 한국과학기술원, 1997 |
| 6 | Effect of Gas Composition on TiN Thin-Film Fabrication in N2/H2/Ar/TiCl4 Inductively Coupled Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition System Jang, SS; Lee, Won-Jong, JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, v.40, no.8, pp.4819 - 4824, 2001-08 |
| 7 | Fabrication and characterization of vertically well-aligned PbTiO3/TiN core-shell nanotube arrays = 수직으로 정렬된 $PbTiO_3/TiN$ 코어쉘 나노튜브배열의 제조와 특성 분석link Yoon, Jae-Sung; 윤재성; et al, 한국과학기술원, 2013 |
| 8 | Fabrication of TiN/cBN and TiC/diamond coated particles by titanium deposition process Daoush, Walid M.; Park, Hee S.; Hong, Soon-Hyung, TRANSACTIONS OF NONFERROUS METALS SOCIETY OF CHINA, v.24, no.11, pp.3562 - 3570, 2014-11 |
| 9 | Formation of equiaxed alpha and titanium nitride precipitates in spark plasma sintered TiB/Ti-6Al-4V composites Nandwana, P.; Hwang, J. Y.; Koo, M. Y.; Tiley, J.; Hong, S. H.; Banerjee, R., MATERIALS LETTERS, v.83, pp.202 - 205, 2012-09 |
| 10 | Fracture behavior of brittle thin coating = 취성 박막 코팅의 파괴 현상 연구link Kim, Young-Gu; 김영구; et al, 한국과학기술원, 2005 |
| 11 | Fracture resistance and contact damage of TiN particle reinforced Si3N4 ceramics Tatami, J; Chen, IW; Yamamoto, Y; Komastu, M; Komeya, K; Kim, Do Kyung; Wakihara, T; et al, JOURNAL OF THE CERAMIC SOCIETY OF JAPAN, v.114, pp.1049 - 1053, 2006-11 |
| 12 | $H_2/Ar/TiCl_4$ 및 $N_2/H_2/Ar/TiCl_4$ 유도결합 플라즈마 CVD 법에 의한 Ti 및 TiN 박막의 증착 특성 연구 = Investigation of the $H_2/Ar/TiCl_4$ and $N_2/H_2/Ar/TiCl_4$ inductively coupled plasma enhanced CVD system for the deposition of Ti and TiN filmslink 장성수; Jang, Seong-Soo; et al, 한국과학기술원, 2001 |
| 13 | High frequency NEMS resonator based on TiN for Mass/Bio sensors = 질량 및 바이오 센서에 응용 가능한 질화 티타늄을 이용한 고주파 나노 기계적 공진기에 관한 연구link Jeong, Kil-Su; 정길수; et al, 한국과학기술원, 2010 |
| 14 | Highly ordered and well aligned TiN nanotube arrays fabricated via template-assisted atomic layer deposition Yoon, Jae-Sung; Kim, Sang-Joon; No, Kwang-Soo, MATERIALS LETTERS, v.87, pp.124 - 126, 2012-11 |
| 15 | Improvement in thermal stability of chemical vapor deposition CoSi 2/polycrystalline silicon using tin and amorphous silicon interlayers Hong J.E.; Kim S.I.; Ahn, Byung Tae; Lee H.S., JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS , v.45, no.2 A, pp.710 - 713, 2006-02 |
| 16 | MgO 와 TiN 코팅층이 방향성 규소강판의 자기적 특성에 미치는 영향 = Effects of MgO and TiN coatings on magnetic properties of grain oriented silicon steellink 홍대훈; Hong, Dae-Hoon; et al, 한국과학기술원, 2000 |
| 17 | Nucleation reactions and film growth of copper on TiN using hexafluoroacetylacetonate copper(I) trimethylvinylsilane Kim, DH; Lee, YJ; Park, Chong-Ook; Park, JW; Kim, JJ, CHEMICAL ENGINEERING COMMUNICATIONS, v.153, pp.307 - 317, 1996-06 |
| 18 | Oxygen diffusion through RuO2 bottom electrode of integrated ferroelectric capacitors Ahn, JH; Lee, WJ; Kim, Ho Gi, MATERIALS LETTERS, v.38, no.4, pp.250 - 253, 1999-02 |
| 19 | Reactive magnetron sputter ion plating법에 의해 증착된 TiN 박막의 특성에 관한 연구 = A study on characteristics of the TiN thin films deposited by reactive magnetron sputter ion plating.link 강희수; Kang, Hee-Soo; et al, 한국과학기술원, 1996 |
| 20 | Reactive magnetron sputter ion plating법으로 증착된 TiN 박막의 증착 특성 및 침식 특성에 관한 연구 = Deposition characteristics and liquid impingement erosion properties of TiN film fabricated by reactive magnetron sputter ion platinglink 이민구; Lee, Min-Ku; et al, 한국과학기술원, 1998 |
| 21 | Surface morphology improvement of metalorganic chemical vapor deposition Al films by layered deposition of Al and ultrathin TiN Ahn, Seong-Deok; Lee, Hyun-Bae; Kang, Sang-Won, JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, v.39, no.6A, pp.3349 - 3354, 2000-06 |
| 22 | TiN와 Pt전극 위에 증기상 반응 스퍼터링 방법을 통한 $PbTiO_3$ 박막의 제조와 특성분석 = Fabrication and characterization of $PbTiO_3$ thin films deposited on TiN and Pt electrodes via vapor phase reaction sputteringlink 윤석중; Yun, Seok-Jung; et al, 한국과학기술원, 2011 |
| 23 | TiN와 Pt전극 위에 증기상 반응 스퍼터링 방법을 통한 $PbTiO_3$ 박막의 제조와 특성분석 : Fabrication and characterization of $PbTiO_3$ thin films deposited on TiN and Pt electrodes via vapor phase reacti = Fabrication and characterization of $PbTiO_3$ thin films deposited on TiN and Pt electrodes via vapor phase reactilink 윤석중(Yun, Seok-Jung); et al, 한국과학기술원, 2011 |
| 24 | TiN의 Cu 확산방지막 특성 및 그 특성 평가 방법에 관한 연구 = The properties and the characterization methods of TiN as a barrier against Cu diffusionlink 이승윤; Lee, Seung-Yun; et al, 한국과학기술원, 1996 |
| 25 | 나노탬플릿과 원자층 증착법을 이용한 정렬된 TiN, $TiO_2$ 일차원 나노구조의 제조와 특성평가 = Fabrication and characterization of aligned TiN, $TiO_2$ one-dimensional nanostructures by nanotemplate and atomic layer depositionlink 김상준; Kim, Sang Joon; et al, 한국과학기술원, 2013 |
| 26 | 반응성 CVD를 이용한 다결정 실리콘 기판에서의 $CoSi_2$ layer의 성장거동과 열적 안정성에 관한 연구 = Growth behavior and thermal stability of $CoSi_2$ layer on poly-Si substrate using reactive chemical vapor depositionlink 김선일; Kim, Sun-Il; et al, 한국과학기술원, 2001 |
| 27 | 원자층 단위 증착법으로 증착된 TiN 증착기구에 대한 모델 연구 = A study of the deposition model about ALD (atomic layer deposition) TiN methodlink 박진성; Park, Jin-Seong; et al, 한국과학기술원, 1999 |
