1 | Development of blue electroluminescence device using ZnS:Cu = ZnS:Cu를 이용한 청색발광 Electroluminescent 소자 개발 연구link Kim, Dong-Il; 김동일; Park, Chong-Ook; 박종욱, 한국과학기술원, 1997 |
2 | 염소계 플라즈마를 이용한 구리박막의 건식 식각기구에 관한 연구 = A study on the dry etching mechanism of copper film in chlorine-based plasmalink 이성권; Lee, Sung-Kwon; 이원종; Lee, Won-Jong, 한국과학기술원, 1997 |
3 | 구리의 화학증착기구에 관한 연구 = A study on the copper chemical vapor deposition mechanism using copper(I) hexafluoroacetylacetonate trimethylvinylsilanelink 이원준; Lee, Won-Jun; 박종욱; Park, Chong-Ook, 한국과학기술원, 1996 |
4 | 반도체 배선용 Cu 박막의 reflow 및 응집 특성 = Reflow and agglomeration of Cu thin films for the interconnect in semiconductor deviceslink 이승윤; Lee, Seung-Yun; 박종욱; Park, Chong-Ook, 한국과학기술원, 1999 |
5 | Cu/Cr 박막과 폴리이미드의 접착에 관한 연구 = A study on the adhesion of Cu/Cr films deposited on polyimidelink 박익성; Park, Ik-Seong; 유진; Yu, Jin, 한국과학기술원, 1997 |
6 | 구리 박막과 반응성 플라즈마의 건식 식각반응 특성에 관한 연구 = A study on the characteristics of dry etch reactions between Cu thin film and reactive plasmaslink 권명석; Kwon, Myoung-Seok; 이정용; Lee, Jeong-Yong, 한국과학기술원, 1999 |
7 | Cu/TiN/Ti/Si 다층막의 열처리에 관한 연구 = A study on the annealing of the Cu/TiN/Ti/Si Multilayerlink 라사균; Rha, Sa-Kyun; 박종욱; 천성순; Park, Chong-Ook; Chyun, Soung-Soon, 한국과학기술원, 1997 |