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1
칩 스케일 원자시계를 위한 전기 광학 기능이 구비된 증기셀

나노종합기술원; 박종철; 김희연; 양충모; 김태현, 2017-02-17

2
광대역 흡수구조를 갖는 고성능 볼로미터

나노종합기술원; 이종권; 김태현; 오재섭; 박종철; 김희연, 2019-07-12

3
실리콘 전기접속 기판 및 그 제조방법

나노종합기술원; 박종철; 김태현; 양충모; 노길선; 김다혜; 김희연

4
초음파 탐촉자 및 그 제조방법

나노종합기술원; 박종철; 김태현; 김경민; 백경욱; 박재형

5
멤스 소자 및 멤스 디바이스의 제조 방법

오재섭; 이종권; 박종철; 김태현; 홍대원; 나노종합기술원

6
전자 소자의 제조 방법

나노종합기술원; 강일석; 이종권; 김태현; 박종철

7
MEMS 가변 축전기 어레이 장치 및 그 제조 방법

나노종합기술원; 박종철; 양충모; 윤석오; 김태현; 이종권; 임성규; 박상현

8
멤스 소자 및 멤스 디바이스의 제조 방법

나노종합기술원; 오재섭; 이종권; 박종철; 김태현; 김광희

9
칩 스케일 원자시계

나노종합기술원; 박종철; 이종권; 김태현

10
볼로미터 멤스 소자 및 볼로미터 멤스 소자의 제조 방법

나노종합기술원; 오재섭; 이종권; 박종철; 김태현; 김광희

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