본 발명은 실리콘을 포함하는 기판을 준비하는 단계; 상기 실리콘을 포함하는 기판의 상면으로부터 하방으로 복수의 트렌치를 형성하는 단계; 및 상기 복수의 트렌치를 가지는 상기 실리콘을 포함하는 기판을 열산화 처리함으로써, 상기 실리콘을 포함하는 기판의 노출면에 열산화막(thermal oxidation layer)이 형성되면서 동시에 상기 복수의 트렌치의 공간까지 메우는, 절연패턴을 형성하는 단계;를 포함하는 실리콘 전기접속 기판의 제조방법을 제공한다.