전자 소자의 제조 방법Method of fabrication electronic device
본 발명은 상면에 이형층이 구비된 캐리어 기판을 제공하는 단계; 실리콘 웨이퍼 상에 소자층이 형성된 예비적 전자 소자를 제공하는 단계; 상기 소자층과 상기 이형층이 접촉하도록 상기 예비적 전자 소자를 플립하여 상기 이형층 상에 상기 예비적 전자 소자를 점착하는 단계; 상기 이형층과 상기 예비적 전자 소자가 점착된 상태에서, 상기 실리콘 웨이퍼를 후면에서부터 일부 제거하여 박형화된 실리콘 웨이퍼를 형성함으로써, 상기 박형화된 실리콘 웨이퍼와 상기 소자층을 구비하는 전자 소자를 형성하는 단계; 및 상기 이형층으로부터 상기 전자 소자를 분리시키는 단계;를 포함하는, 전자 소자의 제조 방법을 제공한다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2018-12-28
- Application Number
- 10-2018-0171594
- Registration Date
- 2020-12-01
- Registration Number
- 10-2187498-0000
- Appears in Collection
- RIMS Patents
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