전자 소자의 제조 방법Method of fabrication electronic device
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 나노종합기술원 | ko |
| dc.contributor.author | 강일석 | ko |
| dc.contributor.author | 이종권 | ko |
| dc.contributor.author | 김태현 | ko |
| dc.contributor.author | 박종철 | ko |
| dc.date.accessioned | 2020-12-09T05:30:26Z | - |
| dc.date.available | 2020-12-09T05:30:26Z | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/278121 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은 상면에 이형층이 구비된 캐리어 기판을 제공하는 단계; 실리콘 웨이퍼 상에 소자층이 형성된 예비적 전자 소자를 제공하는 단계; 상기 소자층과 상기 이형층이 접촉하도록 상기 예비적 전자 소자를 플립하여 상기 이형층 상에 상기 예비적 전자 소자를 점착하는 단계; 상기 이형층과 상기 예비적 전자 소자가 점착된 상태에서, 상기 실리콘 웨이퍼를 후면에서부터 일부 제거하여 박형화된 실리콘 웨이퍼를 형성함으로써, 상기 박형화된 실리콘 웨이퍼와 상기 소자층을 구비하는 전자 소자를 형성하는 단계; 및 상기 이형층으로부터 상기 전자 소자를 분리시키는 단계;를 포함하는, 전자 소자의 제조 방법을 제공한다. | - |
| dc.title | 전자 소자의 제조 방법 | - |
| dc.title.alternative | Method of fabrication electronic device | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 강일석 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이종권 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김태현 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 박종철 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2018-0171594 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-2187498-0000 | - |
| dc.date.application | 2018-12-28 | - |
| dc.date.registration | 2020-12-01 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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- RIMS Patents
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