MEMS 가변 축전기 어레이 장치 및 그 제조 방법

Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 MEMS 가변 축전기 어레이 장치는, 기판 상에 제1 방향 및 제2 방향으로 매트릭스 형태로 배열된 복수의 단위 가변 축전기들을 포함한다. 상기 MEMS 가변 축전기 어레이 장치는, 상기 기판 상에서 상기 제2 방향으로 나란히 연장되는 하부 전극 라인들; 상기 하부 전극 라인들 상에 제1 방향 및 제2 방향으로 일정한 간격으로 배열되고 상기 하부 전극 라인들로부터 부상된 상부 전극들; 상기 상부 전극을 지지하고 상기 상부 전극의 일 대각선 방향에 배치된 적어도 한 쌍의 도전성 엥커들; 상기 하부 전극 라인들과 동일한 평면에 배치되고 상기 하부 전극 라인들과 접촉하지 않고 상기 도전성 엥커들을 각각 지지하는 도전성 엥커 지지부들; 및 상기 제2 방향으로 연장되고 상기 상부 전극의 타 대각선 방향에서 상기 상부 전극에 연결되어 탄성을 제공하는 레그 스프링들;을 포함한다.