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MEMS 가변 축전기 어레이 장치 및 그 제조 방법MEMS Tunable Capacitor Array Apparatus and The Fabrication Method Of The Same

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dc.contributor.author나노종합기술원ko
dc.contributor.author박종철ko
dc.contributor.author양충모ko
dc.contributor.author윤석오ko
dc.contributor.author김태현ko
dc.contributor.author이종권ko
dc.contributor.author임성규ko
dc.contributor.author박상현ko
dc.date.accessioned2020-12-09T05:10:27Z-
dc.date.available2020-12-09T05:10:27Z-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10203/278112-
dc.description.abstract본 발명의 일 실시예에 따른 MEMS 가변 축전기 어레이 장치는, 기판 상에 제1 방향 및 제2 방향으로 매트릭스 형태로 배열된 복수의 단위 가변 축전기들을 포함한다. 상기 MEMS 가변 축전기 어레이 장치는, 상기 기판 상에서 상기 제2 방향으로 나란히 연장되는 하부 전극 라인들; 상기 하부 전극 라인들 상에 제1 방향 및 제2 방향으로 일정한 간격으로 배열되고 상기 하부 전극 라인들로부터 부상된 상부 전극들; 상기 상부 전극을 지지하고 상기 상부 전극의 일 대각선 방향에 배치된 적어도 한 쌍의 도전성 엥커들; 상기 하부 전극 라인들과 동일한 평면에 배치되고 상기 하부 전극 라인들과 접촉하지 않고 상기 도전성 엥커들을 각각 지지하는 도전성 엥커 지지부들; 및 상기 제2 방향으로 연장되고 상기 상부 전극의 타 대각선 방향에서 상기 상부 전극에 연결되어 탄성을 제공하는 레그 스프링들;을 포함한다.-
dc.titleMEMS 가변 축전기 어레이 장치 및 그 제조 방법-
dc.title.alternativeMEMS Tunable Capacitor Array Apparatus and The Fabrication Method Of The Same-
dc.typePatent-
dc.type.rimsPAT-
dc.contributor.nonIdAuthor박종철-
dc.contributor.nonIdAuthor양충모-
dc.contributor.nonIdAuthor윤석오-
dc.contributor.nonIdAuthor김태현-
dc.contributor.nonIdAuthor이종권-
dc.contributor.nonIdAuthor임성규-
dc.contributor.nonIdAuthor박상현-
dc.contributor.assignee한국과학기술원-
dc.identifier.iprsType특허-
dc.identifier.patentApplicationNumber10-2019-0040528-
dc.identifier.patentRegistrationNumber10-2186711-0000-
dc.date.application2019-04-08-
dc.date.registration2020-11-30-
dc.publisher.countryKO-
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