칩 스케일 원자시계를 위한 전기 광학 기능이 구비된 증기셀

Abstract

본 발명에 따른 칩 스케일 원자시계를 위한 전기 광학 기능이 구비된 증기셀은, 반응성 물질이 수용되는 공간인 관통부를 구비하는 실리콘 몸체; 상기 실리콘 몸체의 일면에 배치되어 상기 관통부의 일측을 폐색하는 제 1 유리기판; 및 상기 실리콘 몸체의 타면에 배치되어 상기 관통부의 타측을 폐색하는 제 2 유리기판을 포함하여 형성되되, 상기 관통부 내부의 온도를 조절하기 위하여 상기 실리콘 몸체에 전압이 인가되는 것을 특징으로 한다.본 발명에 의하면, 제 1 및 제 2 유리기판을 지지하는 실리콘 몸체 자체가 전열 장치로서의 역할도 수행하기 때문에 관통부 내부의 온도를 일정하게 유지시킬 수 있다. 게다가, 관통부 내부의 온도를 조절하기 위하여 히터와 같은 전열 장치를 별도로 구비하거나, 추가적인 가열 패턴을 형성할 필요가 없기 때문에 증기셀의 제작 공정을 간소화시킬 수 있다.