칩 스케일 원자시계를 위한 전기 광학 기능이 구비된 증기셀VAPOR CELL WITH ELECTRO-OPTICAL FUNCTION FOR CHIP-SCALE ATOMIC CLOCK

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dc.contributor.author나노종합기술원ko
dc.contributor.author박종철ko
dc.contributor.author김희연ko
dc.contributor.author양충모ko
dc.contributor.author김태현ko
dc.date.accessioned2019-04-15T18:14:29Z-
dc.date.available2019-04-15T18:14:29Z-
dc.date.issued2017-02-17-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10203/257099-
dc.description.abstract본 발명에 따른 칩 스케일 원자시계를 위한 전기 광학 기능이 구비된 증기셀은, 반응성 물질이 수용되는 공간인 관통부를 구비하는 실리콘 몸체; 상기 실리콘 몸체의 일면에 배치되어 상기 관통부의 일측을 폐색하는 제 1 유리기판; 및 상기 실리콘 몸체의 타면에 배치되어 상기 관통부의 타측을 폐색하는 제 2 유리기판을 포함하여 형성되되, 상기 관통부 내부의 온도를 조절하기 위하여 상기 실리콘 몸체에 전압이 인가되는 것을 특징으로 한다.본 발명에 의하면, 제 1 및 제 2 유리기판을 지지하는 실리콘 몸체 자체가 전열 장치로서의 역할도 수행하기 때문에 관통부 내부의 온도를 일정하게 유지시킬 수 있다. 게다가, 관통부 내부의 온도를 조절하기 위하여 히터와 같은 전열 장치를 별도로 구비하거나, 추가적인 가열 패턴을 형성할 필요가 없기 때문에 증기셀의 제작 공정을 간소화시킬 수 있다.-
dc.title칩 스케일 원자시계를 위한 전기 광학 기능이 구비된 증기셀-
dc.title.alternativeVAPOR CELL WITH ELECTRO-OPTICAL FUNCTION FOR CHIP-SCALE ATOMIC CLOCK-
dc.typePatent-
dc.type.rimsPAT-
dc.contributor.nonIdAuthor박종철-
dc.contributor.nonIdAuthor김희연-
dc.contributor.nonIdAuthor양충모-
dc.contributor.nonIdAuthor김태현-
dc.contributor.assignee한국과학기술원-
dc.identifier.iprsType특허-
dc.identifier.patentApplicationNumber10-2015-0108253-
dc.identifier.patentRegistrationNumber10-1709557-0000-
dc.date.application2015-07-30-
dc.date.registration2017-02-17-
dc.publisher.countryKO-
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RIMS Patents
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