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MEMS 가변 축전기 어레이 장치 및 그 제조 방법 나노종합기술원; 박종철; 양충모; 윤석오; 김태현; 이종권; 임성규; et al |
곡면 반사층을 가지는 멤스 소자 및 멤스 디바이스의 제조 방법 나노종합기술원; 이종권; 오재섭; 박종철 |
광대역 흡수구조를 갖는 고성능 볼로미터 나노종합기술원; 이종권; 김태현; 오재섭; 박종철; 김희연, 2019-07-12 |
광학 필터 및 광학 필터의 제조 방법 나노종합기술원; 이종권; 오재섭; 유동은; 심갑섭; 박종철 |
나노 와이어 그리드 편광 및 적외선 차단 일체형 광학 필터 나노종합기술원; 이종권; 강일석; 심갑섭; 김광희; 김재범; 김장섭; et al |
멤스 소자 및 멤스 디바이스의 제조 방법 오재섭; 이종권; 박종철; 김태현; 홍대원; 나노종합기술원 |
멤스 소자 및 멤스 디바이스의 제조 방법 나노종합기술원; 오재섭; 이종권; 박종철; 김태현; 김광희 |
볼로미터 멤스 소자 및 볼로미터 멤스 소자의 제조 방법 나노종합기술원; 오재섭; 이종권; 박종철; 김태현; 김광희 |
실리콘 전기접속 기판 및 그 제조방법 나노종합기술원; 박종철; 김태현; 양충모; 노길선; 김다혜; 김희연 |
와이어 그리드 편광자 나노종합기술원; 이종권; 강일석; 박종철; 오재섭; 윤석오; 박재홍; et al |
임피던스 측정장치 및 이를 이용한 측정방법 나노종합기술원; 윤석오; 권순재; 유형준; 조한원; 이태재; 박종철, 2019-09-17 |
전자 소자의 제조 방법 나노종합기술원; 강일석; 이종권; 김태현; 박종철 |
초음파 탐촉자 및 그 제조방법 나노종합기술원; 박종철; 김태현; 김경민; 백경욱; 박재형 |
초음파변환자의역여기방법 박송배; 박종철 |
칩 스케일 기기를 위한 밀폐용기 제작 방법 나노팹; 박종철; 김희연; 양충모; 김태현, 2017-08-29 |
칩 스케일 원자시계 나노팹; 박종철; 김태현; 김희연; 양충모, 2018-06-05 |
칩 스케일 원자시계 나노종합기술원; 박종철; 이종권 |
칩 스케일 원자시계 나노종합기술원; 박종철; 이종권; 김태현 |
칩 스케일 원자시계를 위한 전기 광학 기능이 구비된 증기셀 나노종합기술원; 박종철; 김희연; 양충모; 김태현, 2017-02-17 |
파장 선택형 적외선 센서 및 이의 제조 방법 나노팹; 김태현; 김희연; 박종철; 김정우; 홍대원, 2018-08-31 |
홀센서 및 자이로센서를 이용한 병변 위치 탐지 장치 나노종합기술원; 윤석오; 권순재; 박정호; 박종철; 김희연; 유형준; et al, 2019-02-26 |
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