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다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 제조방법 김충기; 한철희; 이정렬; 오길환, 2005-02-10 |
다결정실리콘박막트랜지스터의제조방법 한철희; 김충기; 이정렬; 오길환 |
매우작은소오스영역을갖는자기정렬된수직이중확산형전력MOSFET의제조방법 김충기; 고요환 |
바이어스방법에의해형성된두께가매우얇고균일한단결정실리콘박막을갖는에스-오-아이웨이퍼의제조방법및 이호준; 김충기; 한철희, 1998-10-10 |
반도체 기판 위에 높이 떠 있는 3차원 금속 소자, 그 회로모델, 및 그 제조방법 윤준보; 윤의식; 김충기; 한철희, 2003-01-08 |
불순물의실리콘으로의고속열확산방법및그고속열확산장치 김충기; 김경태; 김정규 |
실리사이드에의한래치업방지CMOS집적회로장치 김충기; 오춘식 |
실리콘웨이퍼에서의부정합전위의발생을억제화하기위한링패턴형성방법및그구조 김충기; 한철희; 이호준 |
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