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건식 식각 가능한 희생층 기반의 기계식 연동 방식을 통한 새로운 나노와이어 전사 방법 서민호; 박상현; 유재영; 임성규; 윤준보, 제 20회 한국MEMS학술대회, 마이크로나노시스템학회, 2018-04-07 |
고온 공정이 가능한 MEMS 디바이스 제조방법 임성규; 김영수; 이귀로, 2014-06-11 |
다중파장 광 검출기 및 이를 이용한 초분광 이미징 시스템 나노종합기술원; 김상현; 금대명; 임성규 |
멤스 디바이스 제조방법 나노팹; 임성규; 김영수; 김희연; 강민호; 오재섭; 이귀로, 2013-03-28 |
멤스 디바이스 제조방법 나노팹; 임성규; 김영수; 김희연; 강민호; 오재섭; 이귀로, 2018-02-13 |
멤즈 구조체의 제조 방법 김병일; 이귀로; 임성규; 김영수, 2014-12-03 |
접착개선된 비정질탄소막을 이용한 MEMS 디바이스 제조방법 임성규; 김영수; 김한흥; 박상현; 황욱중; 이귀로, 2014-04-18 |
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