| 1 | A study on cutoff probe improvement for high density magnetized plasma measurement = 고밀도 자화 플라즈마 측정을 위한 컷오프 탐침 개선 연구link You, Kwang Ho; 유광호; et al, 한국과학기술원, 2015 |
| 2 | A study on the characteristics of RF multi hole cathode CCP discharge in various noble gas = 복수 홀 전극 구조를 갖는 축전 결합 RF 방전 특성에 관한 연구link Lee, Hun-su; 이헌수; et al, 한국과학기술원, 2011 |
| 3 | (A) study on characteristics of $SF_6$／$O_2$ capacitive discharge with QMS and Langmuir probe = 사중극자 질량 분석기와 랑뮈어 탐침을 이용한 $SF_6$／$O_2$ 축전 결합 플라즈마의 특성에 관한 연구link Lee, Hun-Su; 이헌수; et al, 한국과학기술원, 2006 |
| 4 | Analysis on asymmetric current of plasma mediated electrosurgery = 플라즈마를 이용한 고주파 전기 수술법의 비대칭 전류에 관한 연구link Kim, Ji-Hoon; 김지훈; et al, 한국과학기술원, 2012 |
| 5 | Anomalous transport in tokamak by drift waveslink Chang, Hong-Young; 장홍영; et al, 한국과학기술원, 1980 |
| 6 | Arcing phenomenon in RF discharge = RF방전에서의 아킹현상link Kim, Yong-Hoon; 김용훈; et al, 한국과학기술원, 2005 |
| 7 | Characteristics of helicon wave plasmas and application to low dielectric film deposition = 헬리콘 파 플라즈마의 특성 및 저유전율 박막 증착에의 응용link Yun, Seok-Min; 윤석민; et al, 한국과학기술원, 1999 |
| 8 | Control of plasma parameters using grid voltage biasing and inert gas mixing in inductively coupled plasma = 유도결합 플라즈마에서 그리드 및 비활성 기체 혼합을 이용한 플라즈마 변수 제어link Bai, Keun-Hee; 배근희; et al, 한국과학기술원, 2002 |
| 9 | Development of gyrokinetic simulation code for the study of electrostatic drift wave turbulence = 난류성 정전기 표류파 연구를 위한 전산모사 코드 개발link Kwon, Jae-Min; 권재민; et al, 한국과학기술원, 2003 |
| 10 | Development of VHF inductively coupled plasma source and study on the frequency effect of plasma parameters = VHF 유도 결합 플라즈마 원 개발 및 플라즈마 변수들의 주파수 효과에 관한 연구link Jun, Hyun-su; 전현수; et al, 한국과학기술원, 2009 |
| 11 | ECR(전자 싸이클로트론 공명)에 의해서 생성된 플라즈마의 특성 조사 송선규; 장홍영; 최덕인; 장충석, 응용물리, v.3, no.2, pp.171 - 175, 1990-05 |
| 12 | Effect of bounce resonance heating on Electron Energy Distribution Function in a small Inductively Coupled Plasma 정진욱; 서상훈; 장홍영, 한국진공학회 제17회 학술발표회, 한국진공학회, 1999-07 |
| 13 | Electrode material effect on electron density in cpacitive coupled plasma = 축전 결합 플라즈마에서 전극 물질이 전자밀도에 미치는 영향에 관한 연구link Kim, Eun-Ae; 김은애; et al, 한국과학기술원, 2011 |
| 14 | Helicon wave 플라즈마 발생과 특성 연구 김정형; 송선규; 장홍영, 응용물리, v.7, no.1, pp.59 - 64, 1994-11 |
| 15 | ICP에서 다이오드 레이저를 이용한 Ar 이온 준안정상태의 LIF(Laser-Induced Fluorescence)측정 및 LIF 기술을 통한 중성빔 진단 = Diode Laser-Induced Fluorescence of argon metastable ion in ICP and argon neutral beam analysis with LIF techniquelink 박민; Park, Min; et al, 한국과학기술원, 2007 |
| 16 | Investigation of the photodissociation effect by UV illumination in the BTMSM/Ar discharge = BTMSM/Ar 플라즈마에서 자외선조사에 의한 광분해 효과 연구link Jung, Won-Bong; 정원봉; et al, 한국과학기술원, 2007 |
| 17 | KAIST 토카막 플라즈마에 적용시킨 이온 에너지 분석기에 관한 연구 = Study on the ion energy analyzer for KAIST tokamak plasmalink 허승회; Huh, Song-Whe; et al, 한국과학기술원, 1995 |
| 18 | KAIST 토카막에서 플라즈마의 변수 측정 = Measurement of plasma parameter of the KAIST tokamaklink 권기청; Kwon, Gi-Chung; 최덕인; 장홍영; et al, 한국과학기술원, 1994 |
| 19 | KAIST 토카막의 Ohmic Heating 장치개발 양장규; 최재훈; 최정완; 허승희; 서성헌; 권기청; 장홍영; et al, 응용물리, v.6, no.5, pp.407 - 413, 1993-09 |
| 20 | KAIST-TOKAMAK 플라즈마 방전 자동화시스템 개발 권기청; 김재현; 선창래; 전상진; 허승회; 문세연; 이태상; et al, 새물리, v.41, no.2, pp.137 - 142, 2000-08 |
| 21 | KAIST-토카막 플라즈마의 성능향상과 플라즈마 위치 측정에 관한 연구 = Study on improving KAIST-tokamak plasma performance and plasma position measurementlink 권기청; Kwon, Gi-Chung; 최덕인; 장홍영; 최원호; Choi, Duk-In; et al, 한국과학기술원, 2000 |
| 22 | KAIST-토카막의 정상상태 플라즈마 발생 및 운전과 제어에 대한 연구 = On the KAIST-Tokamak operation and control for steady state plasmalink 서성헌; Seo, Seong-Heon; et al, 한국과학기술원, 1999 |
| 23 | KSTAR 초기 플라즈마 진단을 위한 ECE 헤테로다인 수신기 설계 및 제작 = Design and fabrication of an ECE heterodyne radiometer for KSTAR 1st plamsalink 정승호; Jeong, Seung-Ho; et al, 한국과학기술원, 2003 |
| 24 | Langmuir 프로브 시스템 개발과 Pulsed Magnetron 플라즈마의 시간적 특성에 관한 연구 = Developement of Langmuir probe system and study on the temporal behavior of plasma characteristics in pulsed magnetron plasmalink 이상원; Lee, Sang-Won; et al, 한국과학기술원, 2005 |
| 25 | LIF 기법을 이용한 헬륨 플라즈마에서의 헬륨 준안정상태 밀도 측정 = Density measurement of He metastable state in He plasma using LIF methodlink 이정범; Lee, Jeong-Beom; et al, 한국과학기술원, 1999 |
| 26 | LIF를 이용한 MICP에서의 이온가열 메카니즘 연구 = Study on ion heating mechanism in magnetized ICP with LIFlink 전상현; Jun, Sang-Hyun; et al, 한국과학기술원, 2006 |
| 27 | MICP(Magnetized ICP)에서 다이오드 레이저를 이용한 Ar이온 준안정상태의 LIF 측정 = LIF measurement of the Ar ion metastable state with diode laser in MICP(Magnetized ICP)link 전상현; Jun, Sang-Hyun; et al, 한국과학기술원, 2001 |
| 28 | On ion energy control of dual frequency capacitive coupled plasma for high aspect ratio process = 고 종횡비 공정을 위한 이중 주파수 축전 결합 플라즈마의 이온 에너지 제어 연구link Park, Gi-Jung; 박기정; et al, 한국과학기술원, 2016 |
| 29 | On the behavior of metastable argon atom density in high density Ar discharge = 고밀도 아르곤 플라즈마에서 준안정 아르곤 중성 밀도 거동에 관한 연구link Park, Min; 박민; et al, 한국과학기술원, 2011 |
| 30 | On the characteristics of multiple inductively coupled plasma sources using two coils = 2개의 코일을 이용한 다중 유도 결합 플라즈마 발생 장치의 특성에 관한 연구link Lee, Jin-won; 이진원; et al, 한국과학기술원, 2016 |
| 31 | On the uniformity of electric field controlled plasma sources = 전기장으로 제어된 플라즈마 소스의 균일도에 관한 연구link Lee, Yong-Kwan; 이용관; et al, 한국과학기술원, 2003 |
| 32 | Parallelizability of helicon and inductively coupled plasma sources for large-area processing = 대면적 공정을 위한 헬리콘과 유도결합 플라즈마 소스의 평행화 연구link An, Sang-Hyuk; 안상혁; et al, 한국과학기술원, 2011 |
| 33 | Physical analysis of cut-off probe and its applications = 컷오프 프로브의 물리적 해석 및 그 응용에 관한 연구link Kim, Dae-Woong; 김대웅; et al, 한국과학기술원, 2011 |
| 34 | Plasma parameter control studies for next generation plasma processing 장홍영, 한국물리학회 학술대회, 한국물리학회, 2003 |
| 35 | Plasma parameter control studies in next generation processing 장홍영, SEMICON KOREA 2003, SEMICON, 2003-01 |
| 36 | Plasma producing apparatus and substrate board treatment 장홍영; 이윤성; 서상훈, 2019-05-21 |
| 37 | power dissipation mode transition by a magnetic field 유신재; 정진욱; 배근희; 장홍영, 한국진공학회 2002년도 제23회 학술발표회, 한국진공학회, 2002 |
| 38 | Research on characteristics of the low pressure and low density e-beam plasma and its application to etching process = 저압 저밀도 전자빔 플라즈마의 특성과 에칭 공정 응용에 대한 연구link Bae, In Shik; 배인식; et al, 한국과학기술원, 2017 |
| 39 | Simulation for solving uniformity problem of large area CCP = 대면적 축전 결합 플라즈마의 균일도 문제를 해결하기 위한 모의 실험link Park, Gi-Jung; 박기정; et al, 한국과학기술원, 2011 |
| 40 | Studies of electron heating and transport in a low pressure Inductively coupled plasma = 저압 유도 결합 플라즈마에서의 전자 가열 수송 연구link Chung, Chin-Wook; 정진욱; et al, 한국과학기술원, 2001 |
| 41 | Studies on characteristics of neutral and metastable neutral atom in high density argon plasmas by using laser induced fluorescence and scattering = 레이저 유도 형광 및 산란을 이용한 고밀도 아르곤 플라즈마에서의 중성종 및 준안정 중성종의 특성 연구link Seo, Byong-Hoon; 서병훈; et al, 한국과학기술원, 2014 |
| 42 | Studies on electron heating and transport mechanism in capacitive coupled plasma = 축전 결합 플라즈마의 전자 가열 및 수송 메카니즘에 관한 연구link You, Shin-Jae; 유신재; et al, 한국과학기술원, 2005 |
| 43 | Studies on reactor structure in transformer coupled toroidal plasma = 변압기 결합 토로이덜 플라즈마에서 반응기 구조에 관한 연구link You, Dae Ho; 유대호; et al, 한국과학기술원, 2015 |
| 44 | Studies on the effect of driving frequency in capacitively coupled plasma = 축전 결합 플라즈마에서 구동 주파수의 효과에 관한 연구link Ahn, Seung-Kyu; 안승규; et al, 한국과학기술원, 2008 |
| 45 | Study on electron heating and E-H mode transition in planar inductively coupled plasma = 평판형 유도결합 플라즈마에서 전자 가열 및 E-H 모드 전이에 관한 연구link Seo, Sang-Hun; 서상훈; et al, 한국과학기술원, 2000 |
| 46 | Study on the arcing mechanism in capacitively-coupled plasma = 축전 결합 플라즈마에서의 아킹 메커니즘에 대한 연구link Kim, Yonghoon; 김용훈; et al, 한국과학기술원, 2015 |
| 47 | Study on the characteristics of atmospheric pressure plasma jetsoperated by nanosecond pulses = 나노 초 펄스에서 구동되는 대기압 플라즈마 제트의 특성 연구link Seol, Youbin; 설유빈; et al, 한국과학기술원, 2017 |
| 48 | (The) study of the characteristics of the dual frequency capacitively coupled plasma(DFCCP) = 이중 주파수 용량 결합 플라즈마의 특성 연구link Jeon, Bu-Il; 전부일; et al, 한국과학기술원, 2004 |
| 49 | Thyristor를 이용한 대전류용 Crowbar 스위치 양장규; 최정완; 최재훈; 장홍영; 최덕인, 응용물리, v.5, no.5, pp.464 - 469, 1992-11 |
| 50 | Transformer coupled plasma의 특성 분석 및 chamber의 기하학적 구조에 따른 플라즈마 변화 특정 = A study on the characteristics of transformer coupled plasma and the geometrical effects of TCP chamber on plasmalink 서상훈; Seo, Sang-Hun; et al, 한국과학기술원, 1995 |
| 51 | UV와 전자빔을 이용한 저온 플라즈마 생성에 관한 연구 = Study on low temperature plasma generation with UV and electron beam(e-beam)link 채수항; Chae, Soo-Hang; et al, 한국과학기술원, 2004 |
| 52 | Wave profile changes at lower hybrid resonance in Helicon plasma 엄세훈; 엄한섭; 장홍영, KAPRA & KPS/DPP Workshop 2000, KAPRA & KPS/DPP, 2000 |
| 53 | 고밀도 Helicon Plasma를 이용한 저유전율의 SiOF박막 증착 연구 김정형; 서상훈; 윤석민; 장홍영, 한국진공학회 제9회 학술발표회, 한국진공학회, 1995 |
| 54 | 고밀도 자화 플라즈마에서의 자발적 진동 및 구조형성 현상에 관한 연구 = Phenomena of self-oscillation and structure formation in high density magnetized plasmalink 허승회; Huh, Song-Whe; et al, 한국과학기술원, 2005 |
| 55 | 고출력 펄스레이져에 의해서 생성되는 고온의 플라즈마 온도 측정 장홍영, 한국물리학회 학술발표회, 한국물리학회, 1988 |
| 56 | 균일도와 효율 개선을 위한 유도 결합 플라즈마에 관한 연구 = Study on inductively coupled plasma for uniformity and efficiency improvementlink 엄정환; Um, Jung-hwan; et al, 한국과학기술원, 2008 |
| 57 | 그리드를 이용한 플라즈마 변수 제어에 따른 Ar/CF4 플라즈마에서 중성종 및 이온들의 분포변화 홍정인; 배근희; 서상훈; 장홍영, 한국진공학회 제17회 학술발표회, 한국진공학회, 1999 |
| 58 | 그리드를 장착한 DC 마그네트론 스퍼터링 플라즈마의 특성 연구 = Plasma characteristics of DC magnetron sputtering source with gridslink 인정환; In, Jeong-Hwan; et al, 한국과학기술원, 2004 |
| 59 | 그리드를 장착한 DC 마그네트론 플라즈마의 플라즈마 특성 연구 인정환; 정민재; 한전건; 장홍영, 한국표면공학회 2003년도 춘계학술발표회, 한국표면공학회, 2003 |
| 60 | 그리드전압을 이용한 전자온도제어 및 $CF_4/Ar$ 플라즈마에의 응용에 관한 연구 = Study on controlling electron temperature with grid bias and Its application to $CF_4/Ar$ plasmalink 홍정인; Hong, Jung-In; et al, 한국과학기술원, 1999 |
