Browse "College of Natural Sciences(자연과학대학)" by Author 장홍영

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1
A study on cutoff probe improvement for high density magnetized plasma measurement = 고밀도 자화 플라즈마 측정을 위한 컷오프 탐침 개선 연구link

You, Kwang Ho; 유광호; et al, 한국과학기술원, 2015

2
A study on the characteristics of RF multi hole cathode CCP discharge in various noble gas = 복수 홀 전극 구조를 갖는 축전 결합 RF 방전 특성에 관한 연구link

Lee, Hun-su; 이헌수; et al, 한국과학기술원, 2011

3
(A) study on characteristics of $SF_6$/$O_2$ capacitive discharge with QMS and Langmuir probe = 사중극자 질량 분석기와 랑뮈어 탐침을 이용한 $SF_6$/$O_2$ 축전 결합 플라즈마의 특성에 관한 연구link

Lee, Hun-Su; 이헌수; et al, 한국과학기술원, 2006

4
Analysis on asymmetric current of plasma mediated electrosurgery = 플라즈마를 이용한 고주파 전기 수술법의 비대칭 전류에 관한 연구link

Kim, Ji-Hoon; 김지훈; et al, 한국과학기술원, 2012

5
Anomalous transport in tokamak by drift waveslink

Chang, Hong-Young; 장홍영; et al, 한국과학기술원, 1980

6
Arcing phenomenon in RF discharge = RF방전에서의 아킹현상link

Kim, Yong-Hoon; 김용훈; et al, 한국과학기술원, 2005

7
Characteristics of helicon wave plasmas and application to low dielectric film deposition = 헬리콘 파 플라즈마의 특성 및 저유전율 박막 증착에의 응용link

Yun, Seok-Min; 윤석민; et al, 한국과학기술원, 1999

8
Control of plasma parameters using grid voltage biasing and inert gas mixing in inductively coupled plasma = 유도결합 플라즈마에서 그리드 및 비활성 기체 혼합을 이용한 플라즈마 변수 제어link

Bai, Keun-Hee; 배근희; et al, 한국과학기술원, 2002

9
Development of gyrokinetic simulation code for the study of electrostatic drift wave turbulence = 난류성 정전기 표류파 연구를 위한 전산모사 코드 개발link

Kwon, Jae-Min; 권재민; et al, 한국과학기술원, 2003

10
Development of VHF inductively coupled plasma source and study on the frequency effect of plasma parameters = VHF 유도 결합 플라즈마 원 개발 및 플라즈마 변수들의 주파수 효과에 관한 연구link

Jun, Hyun-su; 전현수; et al, 한국과학기술원, 2009

11
ECR(전자 싸이클로트론 공명)에 의해서 생성된 플라즈마의 특성 조사

송선규; 장홍영; 최덕인; 장충석, 응용물리, v.3, no.2, pp.171 - 175, 1990-05

12
Effect of bounce resonance heating on Electron Energy Distribution Function in a small Inductively Coupled Plasma

정진욱; 서상훈; 장홍영, 한국진공학회 제17회 학술발표회, 한국진공학회, 1999-07

13
Electrode material effect on electron density in cpacitive coupled plasma = 축전 결합 플라즈마에서 전극 물질이 전자밀도에 미치는 영향에 관한 연구link

Kim, Eun-Ae; 김은애; et al, 한국과학기술원, 2011

14
Helicon wave 플라즈마 발생과 특성 연구

김정형; 송선규; 장홍영, 응용물리, v.7, no.1, pp.59 - 64, 1994-11

15
ICP에서 다이오드 레이저를 이용한 Ar 이온 준안정상태의 LIF(Laser-Induced Fluorescence)측정 및 LIF 기술을 통한 중성빔 진단 = Diode Laser-Induced Fluorescence of argon metastable ion in ICP and argon neutral beam analysis with LIF techniquelink

박민; Park, Min; et al, 한국과학기술원, 2007

16
Investigation of the photodissociation effect by UV illumination in the BTMSM/Ar discharge = BTMSM/Ar 플라즈마에서 자외선조사에 의한 광분해 효과 연구link

Jung, Won-Bong; 정원봉; et al, 한국과학기술원, 2007

17
KAIST 토카막 플라즈마에 적용시킨 이온 에너지 분석기에 관한 연구 = Study on the ion energy analyzer for KAIST tokamak plasmalink

허승회; Huh, Song-Whe; et al, 한국과학기술원, 1995

18
KAIST 토카막에서 플라즈마의 변수 측정 = Measurement of plasma parameter of the KAIST tokamaklink

권기청; Kwon, Gi-Chung; 최덕인; 장홍영; et al, 한국과학기술원, 1994

19
KAIST 토카막의 Ohmic Heating 장치개발

양장규; 최재훈; 최정완; 허승희; 서성헌; 권기청; 장홍영; et al, 응용물리, v.6, no.5, pp.407 - 413, 1993-09

20
KAIST-TOKAMAK 플라즈마 방전 자동화시스템 개발

권기청; 김재현; 선창래; 전상진; 허승회; 문세연; 이태상; et al, 새물리, v.41, no.2, pp.137 - 142, 2000-08

21
KAIST-토카막 플라즈마의 성능향상과 플라즈마 위치 측정에 관한 연구 = Study on improving KAIST-tokamak plasma performance and plasma position measurementlink

권기청; Kwon, Gi-Chung; 최덕인; 장홍영; 최원호; Choi, Duk-In; et al, 한국과학기술원, 2000

22
KAIST-토카막의 정상상태 플라즈마 발생 및 운전과 제어에 대한 연구 = On the KAIST-Tokamak operation and control for steady state plasmalink

서성헌; Seo, Seong-Heon; et al, 한국과학기술원, 1999

23
KSTAR 초기 플라즈마 진단을 위한 ECE 헤테로다인 수신기 설계 및 제작 = Design and fabrication of an ECE heterodyne radiometer for KSTAR 1st plamsalink

정승호; Jeong, Seung-Ho; et al, 한국과학기술원, 2003

24
Langmuir 프로브 시스템 개발과 Pulsed Magnetron 플라즈마의 시간적 특성에 관한 연구 = Developement of Langmuir probe system and study on the temporal behavior of plasma characteristics in pulsed magnetron plasmalink

이상원; Lee, Sang-Won; et al, 한국과학기술원, 2005

25
LIF 기법을 이용한 헬륨 플라즈마에서의 헬륨 준안정상태 밀도 측정 = Density measurement of He metastable state in He plasma using LIF methodlink

이정범; Lee, Jeong-Beom; et al, 한국과학기술원, 1999

26
LIF를 이용한 MICP에서의 이온가열 메카니즘 연구 = Study on ion heating mechanism in magnetized ICP with LIFlink

전상현; Jun, Sang-Hyun; et al, 한국과학기술원, 2006

27
MICP(Magnetized ICP)에서 다이오드 레이저를 이용한 Ar이온 준안정상태의 LIF 측정 = LIF measurement of the Ar ion metastable state with diode laser in MICP(Magnetized ICP)link

전상현; Jun, Sang-Hyun; et al, 한국과학기술원, 2001

28
On ion energy control of dual frequency capacitive coupled plasma for high aspect ratio process = 고 종횡비 공정을 위한 이중 주파수 축전 결합 플라즈마의 이온 에너지 제어 연구link

Park, Gi-Jung; 박기정; et al, 한국과학기술원, 2016

29
On the behavior of metastable argon atom density in high density Ar discharge = 고밀도 아르곤 플라즈마에서 준안정 아르곤 중성 밀도 거동에 관한 연구link

Park, Min; 박민; et al, 한국과학기술원, 2011

30
On the characteristics of multiple inductively coupled plasma sources using two coils = 2개의 코일을 이용한 다중 유도 결합 플라즈마 발생 장치의 특성에 관한 연구link

Lee, Jin-won; 이진원; et al, 한국과학기술원, 2016

31
On the uniformity of electric field controlled plasma sources = 전기장으로 제어된 플라즈마 소스의 균일도에 관한 연구link

Lee, Yong-Kwan; 이용관; et al, 한국과학기술원, 2003

32
Parallelizability of helicon and inductively coupled plasma sources for large-area processing = 대면적 공정을 위한 헬리콘과 유도결합 플라즈마 소스의 평행화 연구link

An, Sang-Hyuk; 안상혁; et al, 한국과학기술원, 2011

33
Physical analysis of cut-off probe and its applications = 컷오프 프로브의 물리적 해석 및 그 응용에 관한 연구link

Kim, Dae-Woong; 김대웅; et al, 한국과학기술원, 2011

34
Plasma parameter control studies for next generation plasma processing

장홍영, 한국물리학회 학술대회, 한국물리학회, 2003

35
Plasma parameter control studies in next generation processing

장홍영, SEMICON KOREA 2003, SEMICON, 2003-01

36
Plasma producing apparatus and substrate board treatment

장홍영; 이윤성; 서상훈, 2019-05-21

37
power dissipation mode transition by a magnetic field

유신재; 정진욱; 배근희; 장홍영, 한국진공학회 2002년도 제23회 학술발표회, 한국진공학회, 2002

38
Research on characteristics of the low pressure and low density e-beam plasma and its application to etching process = 저압 저밀도 전자빔 플라즈마의 특성과 에칭 공정 응용에 대한 연구link

Bae, In Shik; 배인식; et al, 한국과학기술원, 2017

39
Simulation for solving uniformity problem of large area CCP = 대면적 축전 결합 플라즈마의 균일도 문제를 해결하기 위한 모의 실험link

Park, Gi-Jung; 박기정; et al, 한국과학기술원, 2011

40
Studies of electron heating and transport in a low pressure Inductively coupled plasma = 저압 유도 결합 플라즈마에서의 전자 가열 수송 연구link

Chung, Chin-Wook; 정진욱; et al, 한국과학기술원, 2001

41
Studies on characteristics of neutral and metastable neutral atom in high density argon plasmas by using laser induced fluorescence and scattering = 레이저 유도 형광 및 산란을 이용한 고밀도 아르곤 플라즈마에서의 중성종 및 준안정 중성종의 특성 연구link

Seo, Byong-Hoon; 서병훈; et al, 한국과학기술원, 2014

42
Studies on electron heating and transport mechanism in capacitive coupled plasma = 축전 결합 플라즈마의 전자 가열 및 수송 메카니즘에 관한 연구link

You, Shin-Jae; 유신재; et al, 한국과학기술원, 2005

43
Studies on reactor structure in transformer coupled toroidal plasma = 변압기 결합 토로이덜 플라즈마에서 반응기 구조에 관한 연구link

You, Dae Ho; 유대호; et al, 한국과학기술원, 2015

44
Studies on the effect of driving frequency in capacitively coupled plasma = 축전 결합 플라즈마에서 구동 주파수의 효과에 관한 연구link

Ahn, Seung-Kyu; 안승규; et al, 한국과학기술원, 2008

45
Study on electron heating and E-H mode transition in planar inductively coupled plasma = 평판형 유도결합 플라즈마에서 전자 가열 및 E-H 모드 전이에 관한 연구link

Seo, Sang-Hun; 서상훈; et al, 한국과학기술원, 2000

46
Study on the arcing mechanism in capacitively-coupled plasma = 축전 결합 플라즈마에서의 아킹 메커니즘에 대한 연구link

Kim, Yonghoon; 김용훈; et al, 한국과학기술원, 2015

47
Study on the characteristics of atmospheric pressure plasma jetsoperated by nanosecond pulses = 나노 초 펄스에서 구동되는 대기압 플라즈마 제트의 특성 연구link

Seol, Youbin; 설유빈; et al, 한국과학기술원, 2017

48
(The) study of the characteristics of the dual frequency capacitively coupled plasma(DFCCP) = 이중 주파수 용량 결합 플라즈마의 특성 연구link

Jeon, Bu-Il; 전부일; et al, 한국과학기술원, 2004

49
Thyristor를 이용한 대전류용 Crowbar 스위치

양장규; 최정완; 최재훈; 장홍영; 최덕인, 응용물리, v.5, no.5, pp.464 - 469, 1992-11

50
Transformer coupled plasma의 특성 분석 및 chamber의 기하학적 구조에 따른 플라즈마 변화 특정 = A study on the characteristics of transformer coupled plasma and the geometrical effects of TCP chamber on plasmalink

서상훈; Seo, Sang-Hun; et al, 한국과학기술원, 1995

51
UV와 전자빔을 이용한 저온 플라즈마 생성에 관한 연구 = Study on low temperature plasma generation with UV and electron beam(e-beam)link

채수항; Chae, Soo-Hang; et al, 한국과학기술원, 2004

52
Wave profile changes at lower hybrid resonance in Helicon plasma

엄세훈; 엄한섭; 장홍영, KAPRA & KPS/DPP Workshop 2000, KAPRA & KPS/DPP, 2000

53
고밀도 Helicon Plasma를 이용한 저유전율의 SiOF박막 증착 연구

김정형; 서상훈; 윤석민; 장홍영, 한국진공학회 제9회 학술발표회, 한국진공학회, 1995

54
고밀도 자화 플라즈마에서의 자발적 진동 및 구조형성 현상에 관한 연구 = Phenomena of self-oscillation and structure formation in high density magnetized plasmalink

허승회; Huh, Song-Whe; et al, 한국과학기술원, 2005

55
고출력 펄스레이져에 의해서 생성되는 고온의 플라즈마 온도 측정

장홍영, 한국물리학회 학술발표회, 한국물리학회, 1988

56
균일도와 효율 개선을 위한 유도 결합 플라즈마에 관한 연구 = Study on inductively coupled plasma for uniformity and efficiency improvementlink

엄정환; Um, Jung-hwan; et al, 한국과학기술원, 2008

57
그리드를 이용한 플라즈마 변수 제어에 따른 Ar/CF4 플라즈마에서 중성종 및 이온들의 분포변화

홍정인; 배근희; 서상훈; 장홍영, 한국진공학회 제17회 학술발표회, 한국진공학회, 1999

58
그리드를 장착한 DC 마그네트론 스퍼터링 플라즈마의 특성 연구 = Plasma characteristics of DC magnetron sputtering source with gridslink

인정환; In, Jeong-Hwan; et al, 한국과학기술원, 2004

59
그리드를 장착한 DC 마그네트론 플라즈마의 플라즈마 특성 연구

인정환; 정민재; 한전건; 장홍영, 한국표면공학회 2003년도 춘계학술발표회, 한국표면공학회, 2003

60
그리드전압을 이용한 전자온도제어 및 $CF_4/Ar$ 플라즈마에의 응용에 관한 연구 = Study on controlling electron temperature with grid bias and Its application to $CF_4/Ar$ plasmalink

홍정인; Hong, Jung-In; et al, 한국과학기술원, 1999

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