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1
(A) study on the atomic layer deposition of Ti-Al-N thin films using plasmas = 플라즈마를 이용한 Ti-Al-N 박막의 원자층 증착법에 관한 연구link

Lee, Yong-Ju; 이용주; et al, 한국과학기술원, 2003

2
(A) study on the growth kinetic modeling for atomic layer deposition of multi-component thin films = 다성분계 박막의 ALD를 위한 박막성장의 동역학적 modeling에 관한 연구link

Kim, Jin-Hyock; 김진혁; et al, 한국과학기술원, 2005

3
ALD와 PEALD를 이용한 $Al_2O_3$ 박막 증착에 관한 연구 = A study on the $Al_2O_3$ thin film deposition by ALD and PEALDlink

전우석; Jeon, Woo-Seok; et al, 한국과학기술원, 2003

4
Characteristics of fluorinated amorphous carbon thin film deposited using ICP-CVD as a low dielectric interlayer dielectrics = ICP-CVD를 이용하여 증착한 저유전율 층간절연 박막용 불소함유 비정질 박막의 특성link

Han, Sang-Soo; 한상수; et al, 한국과학기술원, 2001

5
DLI-MOCVD법을 이용한 Pb계 강유전체 박막의 저온 증착 = Low temperature metalorganic chemical vapor deposition of Pb-based ferroelectric thin films using direct liquid injection systemslink

변경문; Byun, Kyung-Mun; et al, 한국과학기술원, 2004

6
ECR PE-MOCVD법에 의해 증착된 $PbTiO_3$, PLT 박막의 특성에 관한 연구 = A study on the characteristics of $PbTiO_3$, PLT thin films deposited by ECR PE-MOCVDlink

정성웅; Chung, Sung-Woong; et al, 한국과학기술원, 1996

7
ECR-PECVD PZT 박막의 FRAM 소자로의 응용에 관한 연구 = The study on the applicaions to FRAM with PZT thin film fabricated by ECR-PECVDlink

정수옥; Chung, Su-Ock; 이원종; 천성순; et al, 한국과학기술원, 2000

8
FRAM 소자 응용을 위한 ECR PECVD PZT 커패시터 특성에 미치는 전극의 영향 = Effect of electrodes on the characteristics of ECR PECVD PZT capacitors for the application to FRAM deviceslink

이희철; Lee, Hee-Chul; et al, 한국과학기술원, 2002

9
Origin of residual stress and its relationship with crystallographic orientation of sputtered thin films = 스퍼터링법으로 증착한 박막의 잔류응력 생성 원인 및 결정 방향성과의 관계link

Choi, Han-Mei; 최한메; et al, 한국과학기술원, 1999

10
PLD 법을 이용한 $YBa_2Cu_3O_x$ 고온 초전도체의 증착특성에 관한 연구 = A study on deposition of $YBa_2Cu_3O_x$ high temperature superconductor by PLDlink

황두섭; Hwang, Doo-Sup; et al, 한국과학기술원, 1996

11
광리소그래피 위상변위마스크용 Cr-Al-O-N 박막의 개발 = Development of chromium aluminum oxynitride films as a phase shifting mask material for optical lithographylink

김은아; Kim, Eun-Ah; et al, 한국과학기술원, 2001

12
메조포러스 실리카와 Organosilicate 박막의 제조 및 특성 = Fabrication and characteristics of mesoporous silica and organosilicate thin filmslink

정지인; Jung, Ji-In; et al, 한국과학기술원, 2005

13
세라믹스 및 박막으로 구현된 MPB 조성의 $PbYb_{1/2}Nb_{1/2}O_3-PbTiO_3$ 고용체의 상공존 안정성 및 전기적 특성 = Phase stability and electrical properties of thin film and ceramics near the morphotropic phase boundary of $(1-x)PbYb_{1/2}Nb_{1/2}O_3-(x)PbTiO_3$link

임기빈; Im, Ki-Vin; et al, 한국과학기술원, 2001

14
졸-겔법을 통해 제조된 $LiCoO_2$ 박막정극의 전기화학적 특성 = The electrochemical properties of $LiCoO_2$ thin film cathode prepared by sol-gel processlink

김문규; Kim, Mun-Kyu; et al, 한국과학기술원, 2002

15
클러스터 변분법을 이용한 열역학 고찰과 상태도 계산 및 응용에 관한 연구 = On thermodynamic analysis and phase diagram calculation using cluster variation method and its applicationlink

서정룡; Soh, Jeong-Ryong; et al, 한국과학기술원, 1998

16
타이타늄실리사이드 박막의 응집현상과 응력의 영향에 관한 연구 = Study on the agglomeration of TiSi2 thin film and stress effectlink

나종주; Rha, Jong-Joo; et al, 한국과학기술원, 1997

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