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칩 스케일 원자시계를 위한 전기 광학 기능이 구비된 증기셀 나노종합기술원; 박종철; 김희연; 양충모; 김태현, 2017-02-17 | |
실리콘 전기접속 기판 및 그 제조방법 나노종합기술원; 박종철; 김태현; 양충모; 노길선; 김다혜; 김희연 | |
MEMS 가변 축전기 어레이 장치 및 그 제조 방법 나노종합기술원; 박종철; 양충모; 윤석오; 김태현; 이종권; 임성규; 박상현 |