Browse "RIMS Patents" by Author 양충모
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| MEMS 가변 축전기 어레이 장치 및 그 제조 방법 나노종합기술원; 박종철; 양충모; 윤석오; 김태현; 이종권; 임성규; et al |
| 미세 패턴이 형성된 구조체의 제조방법 박재홍; 양충모; 김희연; 김병일; 김우충; 장현익; 김한흥; et al, 2015-08-20 |
| 소프트리소그래피를 이용한 경사진 관통 구멍을 구비한 구조체의 제조방법 나노팹; 박재홍; 장현익; 김우충; 양충모; 김희연, 2016-04-27 |
| 실리콘 전기접속 기판 및 그 제조방법 나노종합기술원; 박종철; 김태현; 양충모; 노길선; 김다혜; 김희연 |
| 칩 스케일 기기를 위한 밀폐용기 제작 방법 나노팹; 박종철; 김희연; 양충모; 김태현, 2017-08-29 |
| 칩 스케일 원자시계 나노팹; 박종철; 김태현; 김희연; 양충모, 2018-06-05 |
| 칩 스케일 원자시계를 위한 전기 광학 기능이 구비된 증기셀 나노종합기술원; 박종철; 김희연; 양충모; 김태현, 2017-02-17 |
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Type
- 1,493 Patent
Date issued
- 458 2010 - 2019
- 90 2000 - 2009
- 165 1990 - 1999
- 125 1981 - 1989