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Browse "Dept. of Materials Science and Engineering(신소재공학과)" by Subject 플라즈마

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1
(A) study on the atomic layer deposition of Ti-Al-N thin films using plasmas = 플라즈마를 이용한 Ti-Al-N 박막의 원자층 증착법에 관한 연구link

Lee, Yong-Ju; 이용주; et al, 한국과학기술원, 2003

2
Characterization of $TiO_2$ thin films formed by plasma enhanced atomic layer deposition = PEALD법을 이용한 $TiO_2$ 박막 증착 및 특성에 관한 연구link

Park, Pan-Kwi; 박판귀; et al, 한국과학기술원, 2002

3
ECR PECVD법을 이용한 SiOF 박막의 증착 특성 및 유전율 안정화에 관한 연구 = A study on the deposition characteristics and the dielectric stability of the SiOF films deposited by ECR PECVDlink

변경문; Byun, Kyung-Mun; et al, 한국과학기술원, 1999

4
ECR 플라즈마를 이용한 $RuO_2$ 박막의 건식 식각특성에 관한 연구 = A study on the dry etching characteristics of $RuO_2$ thin film in electron cyclotron resonance plasmalink

이응직; Lee, Eung-Jik; et al, 한국과학기술원, 1998

5
$H_2/Ar/TiCl_4$ 및 $N_2/H_2/Ar/TiCl_4$ 유도결합 플라즈마 CVD 법에 의한 Ti 및 TiN 박막의 증착 특성 연구 = Investigation of the $H_2/Ar/TiCl_4$ and $N_2/H_2/Ar/TiCl_4$ inductively coupled plasma enhanced CVD system for the deposition of Ti and TiN filmslink

장성수; Jang, Seong-Soo; et al, 한국과학기술원, 2001

6
RF magnetron sputtering 증착공정에서 플라즈마 특성과 비정질 $CN_x$ 박막성질의 상관관계에 관한 연구 = A study on the correlation between the plasma and amorphous $CN_x$ film characteristics using RF magnetron sputteringlink

노기민; Roh, Ki-Min; et al, 한국과학기술원, 2011

7
대면적 평면 마그네트론 스퍼터링 시스템의 플라즈마 발생 및 박막증착에 관한 수치적 연구 = A computational study on plasma generation and film deposition in a large-area planar magnetron sputtering systemlink

권의희; Kwon, Ui-Hui; et al, 한국과학기술원, 2004

8
반도체 브리지의 특성에 관한 연구 = A study on the characteristics of semiconductor bridge (SCB)link

박명일; Park, Myung-Il; et al, 한국과학기술원, 2001

9
저온 열처리 공정에 의한 LCD-TFT용 poly-Si 박막의 제조에 관한 연구 = A study on the fabrication of poly-Si films for LCD-TFT by low-temperature annealing processlink

김해열; Kim, Hae-Yeol; et al, 한국과학기술원, 2000

10
플라즈마 에칭과 플라즈마 밀도 분포가 탄소나노튜브의 전계 방출 특성에 미치는 영향에 대한 연구 = Plasma etching and plasma density distribution effects on electric field emission properties of carbon nanotubeslink

강경태; Kang, Kyong-Tae; et al, 한국과학기술원, 2002

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