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70421
ECR plasma enhanced multi-target sputtering 법을 이용한 Pb(Zr,Ti)O3 박막의 제조 및 특성 평가

이원종; 김성태; 김현호, 한국재료학회 추계학술연구발표회 1996, pp.0 - 0, 1996-01-01

70422
ECR plasma oxidation effects on performance and stability of polysilicon thin film transistors

Lee Jung-Yeal; Han Chul-Hi; Kim, Choong Ki, Proceedings of the 1994 IEEE International Electron Devices Meeting, pp.523 - 526, 1994-12-11

70423
ECR thermal oxidation을 이용한 Bottom gate poly-Si TFT의 제작 및 특성 분석

한철희, 한국반도체학술대회, 1995

70424
ECR 산소 플라즈마를 이용한 저온 열산화

이정렬; 강석원; 이진우; 한철희; 김충기, 전자공학회논문지, v.32, no.3, pp.461 - 470, 1995-03

70425
ECR 산소 플라즈마에 의한 SiO2 박막의 성장 거동 및 전기적 특성

안성덕; 이원종, 한국세라믹학회지, v.32, no.3, pp.371 - 377, 1995-04

70426
ECR 열산화막의 특성분석 및 다결정실리콘 박막트랜지스터에의 응용 = Characterization of ECR thermal oxide and its application to polysilicon TFT'slink

오길환; Oh, Kil-Hwan; et al, 한국과학기술원, 1993

70427
ECR 플라즈마 기상화학증착법에 의한 초고집적 회로의 기억소자용 탄탈륨 산화 박막의 제조 및 특성에 관한 연구 = A study on the tantalum oxide dielectric thin films for memory devices of ULSI by electron cyclotron resonance plasma enhanced chemical vapor depositionlink

김종석; Kim, Jong-Seok; et al, 한국과학기술원, 1993

70428
ECR 플라즈마 기상화학증착법으로 제조한 초고집적회로 금속화공정의 확산방지용 TiN 박막의 특성 = The characteristics of TiN thin films prepared by ECR-PECVD as a diffusion barrier layer in ULSI metallization processlink

김종석; Kim, Jong-Seok; et al, 한국과학기술원, 1997

70429
ECR 플라즈마 산화를 이용한 하위 게이트 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 제작 및 특성 분석 = Fabrication and characterization of bottom-gate poly-Si TFT using ECR plasma oxidationlink

한정인; Han, Jung-In; et al, 한국과학기술원, 1995

70430
ECR 플라즈마 화학 증착법에 의해 증착된 aluminum oxide 박막의 특성에 관한 연구 = A study on the properties of the aluminum oxide thin film deposited by ECR plasma CVDlink

정성웅; Chung, Sung-Woong; et al, 한국과학기술원, 1992

70431
ECR 플라즈마 화학기상증착법에 의한 0.12nm SiO2 환산두께를 갖는 Pb(Zr, Ti)O3 유전박막의제조

김재환; 김용일; 위당문; 이원종, 한국재료학회지, v.7, no.8, pp.635 - 639, 1997-04

70432
ECR 플라즈마 화학증착법에 의해 제조된 PZT 박막의 미세구조에 관한 연구 = The study of the microstructure of the PZT thin film deposited by ECR PECVDlink

정수옥; Chung, Su-Ock; et al, 한국과학기술원, 1995

70433
ECR 플라즈마를 이용한 $RuO_2$ 박막의 건식 식각특성에 관한 연구 = A study on the dry etching characteristics of $RuO_2$ thin film in electron cyclotron resonance plasmalink

이응직; Lee, Eung-Jik; et al, 한국과학기술원, 1998

70434
ECR 플라즈마를 이용한 Cu박막의 건식 식각특성에 관한 연구

이원종; 천성순, 한국재료학회 1995 추계학술연구발표회, pp.0 - 0, 한국재료학회, 1995-11

70435
ECR 플라즈마를 이용한 실리콘질화 박막 증착

Sun-Kyu Song; Hong-Young Chang, 한국표면공학회지, v.23, no.4, pp.218 - 224, 1990

70436
ECR 플라즈마를 이용한 플라즈마 산화에 관한 연구 = A study on the plasma oxidation using electron cyclotron resonance plasmalink

안성덕; Ahn, Seong-Deok; et al, 한국과학기술원, 1994

70437
ECR 플라즈마의 전산모델링에 관한 연구 = Computer modeling of ECR plasmalink

김용진; Kim, Yong-Jin; 장충석; 문희태; et al, 한국과학기술원, 1992

70438
ECR(전자 싸이클로트론 공명)에 의해서 생성된 플라즈마의 특성 조사

송선규; 장홍영; 최덕인; 장충석, 응용물리, v.3, no.2, pp.171 - 175, 1990-05

70439
ECR-Mocvd를 이용한 SrTiO3박막의 증착 및 특성 평가

노광수; 이준성; 송한욱; 전병혁; 이원종; 유병곤, 한국요업학회 추계발표대회, 한국요업학회, 1995-01-01

70440
ECR-MOCVD법을 이용한 BaxSr1-xTiO3 박막의 제조 및 특성평가

노광수, 한국재료학회 추계학술발표 1995, 한국재료학회, 1995-01-01

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