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Parallelizability of helicon and inductively coupled plasma sources for large-area processing = 대면적 공정을 위한 헬리콘과 유도결합 플라즈마 소스의 평행화 연구link An, Sang-Hyuk; 안상혁; et al, 한국과학기술원, 2011 |
Studies on characteristics of neutral and metastable neutral atom in high density argon plasmas by using laser induced fluorescence and scattering = 레이저 유도 형광 및 산란을 이용한 고밀도 아르곤 플라즈마에서의 중성종 및 준안정 중성종의 특성 연구link Seo, Byong-Hoon; 서병훈; et al, 한국과학기술원, 2014 |
Theoretical study on heating characteristics of helicon discharge = 헬리콘 방전의 가열 특성에 관한 이론적 연구link Park, Byoung-Ho; 박병호; et al, 한국과학기술원, 2001 |
낮은 자기장에서 헬리콘 플라즈마의 시간적 진동에 대한 연구와 Lower hybrid resonance에 대한 실험적 고찰 = Plasma density oscillation in helicon plasma with low magnetic fields and experiments for lower hybrid resonancelink 엄세훈; Uhm, Sae-Hoon; et al, 한국과학기술원, 1999 |
헬리콘 플라즈마의 전기적 특성 = Electrical characteristics of helicon plasmalink 윤석민; Yun, Seok-Min; et al, 한국과학기술원, 1996 |
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