Showing results 1 to 2 of 2
Parallelizability of helicon and inductively coupled plasma sources for large-area processing = 대면적 공정을 위한 헬리콘과 유도결합 플라즈마 소스의 평행화 연구link An, Sang-Hyuk; 안상혁; et al, 한국과학기술원, 2011 |
Theoretical study on heating characteristics of helicon discharge = 헬리콘 방전의 가열 특성에 관한 이론적 연구link Park, Byoung-Ho; 박병호; et al, 한국과학기술원, 2001 |
Discover