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On ion energy control of dual frequency capacitive coupled plasma for high aspect ratio process = 고 종횡비 공정을 위한 이중 주파수 축전 결합 플라즈마의 이온 에너지 제어 연구link Park, Gi-Jung; 박기정; et al, 한국과학기술원, 2016 |
Simulation for solving uniformity problem of large area CCP = 대면적 축전 결합 플라즈마의 균일도 문제를 해결하기 위한 모의 실험link Park, Gi-Jung; 박기정; et al, 한국과학기술원, 2011 |
전자빔과 축전결합 플라즈마를 이용한 플라즈마 처리 장치 장홍영; 배인식; 박기정, 2018-01-12 |
축전 결합 플라즈마용 전극 구조체 및 기판 처리 장치 장홍영; 서상훈; 박기정; 이윤성, 2017-05-16 |
플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치 장홍영; 서상훈; 박기정, 2014-08-01 |
플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치 장홍영; 서상훈; 박기정, 2018-03-02 |
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