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1	염소계 플라즈마를 이용한 구리박막의 건식 식각기구에 관한 연구 = A study on the dry etching mechanism of copper film in chlorine-based plasma link 이성권; Lee, Sung-Kwon; 이원종; Lee, Won-Jong, 한국과학기술원, 1997
2	Cu/TiN/Ti/Si 다층막의 열처리에 관한 연구 = A study on the annealing of the Cu/TiN/Ti/Si Multilayer link 라사균; Rha, Sa-Kyun; 박종욱; 천성순; Park, Chong-Ook; Chyun, Soung-Soon, 한국과학기술원, 1997

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이성권; Lee, Sung-Kwon; 이원종; Lee, Won-Jong, 한국과학기술원, 1997

라사균; Rha, Sa-Kyun; 박종욱; 천성순; Park, Chong-Ook; Chyun, Soung-Soon, 한국과학기술원, 1997

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