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CH_3OH 유도결합 플라즈마를 이용한 Magnetic Tunnel Junction 물질의 건식식각특성 연구 = Dry etching characteristics of magnetic tunnel junction materials in CH_3OH inductively coupled plasma systemlink 이민석; Lee, Min-Suk; et al, 한국과학기술원, 2012 |
유도결합 플라즈마를 이용한 PZT 박막의 건식에칭 특성에 관한 연구 = A study on the etching characteristics of PZT films using Inductively coupled Plasmalink 정진기; Jung, Jin-Ki; et al, 한국과학기술원, 2001 |
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