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ECR PE-MOCVD법에 의해 증착된 $PbTiO_3$, PLT 박막의 특성에 관한 연구 = A study on the characteristics of $PbTiO_3$, PLT thin films deposited by ECR PE-MOCVDlink 정성웅; Chung, Sung-Woong; et al, 한국과학기술원, 1996 |
ECR 플라즈마 기상화학증착법으로 제조한 초고집적회로 금속화공정의 확산방지용 TiN 박막의 특성 = The characteristics of TiN thin films prepared by ECR-PECVD as a diffusion barrier layer in ULSI metallization processlink 김종석; Kim, Jong-Seok; et al, 한국과학기술원, 1997 |
ECR-PECVD 법으로 제조한 PZT 박막의 물성 연구 = Characteriszation of PZT thin films prepared by ECR-PECVDlink 김재환; Kim, Jae-Whan; 위당문; 이원종; et al, 한국과학기술원, 1996 |
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