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EUV 리소그래피 펠리클 박막의 제조 방법 및 장치 나노종합기술원; 이기성; 박남수; 황해철; 강희오; 서창호 |
계단 형상의 표면을 갖는 마스터 몰드 및 그 제작 방법 나노팹; 유동은; 배희경; 이동욱; 황해철; 이병주, 2019-05-09 |
광증배소자 및 그 제조방법 나노종합기술원; 설우석; 박남수; 황해철; 박상현; 유동은; 이동욱; et al |
실리콘 광전소자의 제조방법 나노종합기술원; 설우석; 이병주; 황해철; 박남수; 유동은; 이동욱, 2018-10-30 |
실리콘 반도체를 기반으로 하는 광 빔 포밍 네트워크 칩 나노팹; 김종훈; 김영수; 유동은; 이동욱; 김기남; 황해철, 2018-08-21 |
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