계단 형상의 표면을 갖는 마스터 몰드 및 그 제작 방법

Abstract

일실시예에 따르면, 계단 형상의 표면을 갖는 실리콘 기반의 마스터 몰드 제작 방법은 패턴 영역이 형성된 실리콘 기판을 포함하는 몰드-상기 패턴 영역은 상기 실리콘 기판의 돌출부 위에 하드마스크 레이어 및 에치 스탑 레이어가 순차적으로 적층된 구조를 가짐-를 준비하는 단계; 상기 몰드의 표면에 스페이서를 증착하는 단계; 상기 스페이서 중 상기 패턴 영역의 적층 방향에 대해 수직 방향인 스페이서를 에칭하는 단계; 상기 몰드의 표면 중 상기 실리콘 기판을 에칭하는 단계; 및 상기 패턴 영역에 포함되는 상기 하드마스크 레이어 및 상기 에치 스탑 레이어와 상기 스페이서 중 상기 패턴 영역의 적층 방향에 대해 수평 방향인 스페이서를 제거하는 단계를 포함하고, 상기 몰드의 표면에 스페이서를 증착하는 단계, 상기 스페이서 중 상기 패턴 영역의 적층 방향에 대해 수직 방향인 스페이서를 에칭하는 단계 및 상기 몰드의 표면 중 상기 실리콘 기판을 에칭하는 단계는 순차적으로 적어도 한번 이상 반복된다.