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고해상도 투과성 AM-LCD를 위한 실리콘 기판의 연구 김충기; 윤준보; 이호준; 한철희, 한국반도체학술대회, pp.313 - 314, 1995 |
마이크로 머시닝을 위한 고농도로 붕소가 도핑된 실리콘층의 부정합 전위의 억제 이호준; 김하수; 한철희; 김충기, 전자공학회논문지, v.33, no.2, pp.248 - 266, 1996-02 |
바이어스방법에의해형성된두께가매우얇고균일한단결정실리콘박막을갖는에스-오-아이웨이퍼의제조방법및 이호준; 김충기; 한철희, 1998-10-10 |
보호링을 사용하여 부정합 전위의 발생을 억제한 P/P+ 실리콘기판에 제작된 MOSFET의 특성 분석 김충기; 윤난영; 이호준; 한철희, 한국반도체 대한전자공학회 학술대회, pp.129 - 130, 1995 |
부정합 전위가 제기된 Heavily Boron-doped 실리콘 Membrane의 기계적 성질 김충기; 이호준; 한철희, 한국반도체 대한전자공학회 학술대회 논문집, pp.399 - 400, 1994 |
실리콘웨이퍼에서의부정합전위의발생을억제화하기위한링패턴형성방법및그구조 김충기; 한철희; 이호준 |
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