반도체 집적 회로에서 형성되는 인덕터

Abstract

반도체 집적회로에서 형성되는 인덕터에 대해 개시하고 있다. 본 발명의 가장 큰 특징은, 반도체 기판 상의 고주파 집적회로 등에서 사용되는 인덕터의 구성요소인 금속선(Metal Line)을 여러 갈래로 나누어 감아 준다는 것이다. 본 발명에 따르면, 높은 인덕턴스 값 및 높은 Q-인자(Quality factor)를 가지는 이점이 있다.