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DIBLOCK COPOLYMER CONTAINING FLUORINE GROUP 정연식; 허윤형; 송승원 |
Diblock Copolymer Containing Fluorine Group 정연식; 허윤형; 송승원 |
Method of forming fine pattern using a block copolymer 정연식; 허윤형; 송승원 |
Method of Forming Fine Patterns By Using Block Copolymer 정연식; 허윤형; 송승원 |
농도 구배를 가지는 블록을 포함한 이중 블록 공중합체 및 이를 이용한 미세 패턴 형성 방법 정연식; 송승원; 허윤형 |
블록 공중합체를 이용한 미세 패턴의 형성 방법 정연식; 허윤형; 송승원 |
플루오린기를 함유하는 이중블록 공중합체 정연식; 허윤형; 송승원 |
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