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와이어 그리드 편광자 나노종합기술원; 이종권; 강일석; 박종철; 오재섭; 윤석오; 박재홍; 나예은 | |
전자 소자의 제조 방법 나노종합기술원; 강일석; 이종권; 김태현; 박종철 | |
MEMS 가변 축전기 어레이 장치 및 그 제조 방법 나노종합기술원; 박종철; 양충모; 윤석오; 김태현; 이종권; 임성규; 박상현 | |
멤스 소자 및 멤스 디바이스의 제조 방법 나노종합기술원; 오재섭; 이종권; 박종철; 김태현; 김광희 | |
pH 측정 센서 나노종합기술원; 이경균; 배남호; 이태재; 박유민; 최봉길; 김동석; 손선규 | |
미세 유체 장치 제조용 사출성형장치 나노종합기술원; 배남호; 이경균; 이석재; 이태재; 이문근 | |
수소 플라즈마를 활용한 이차원 물질의 전기적 특성 회복 방법 및 이의 장치 나노종합기술원; 안치원; 이병주; 이용희; 채윤정; 한희 | |
EUV 리소그래피 펠리클 박막의 제조 방법 및 장치 나노종합기술원; 이기성; 박남수; 황해철; 강희오; 서창호 | |
모바일 기기와 통합된 병원체의 진단 시스템 나노종합기술원; 이문근; 박유민; 김지현; 이경균; 이태재; 배남호; 이석재 | |
칩 스케일 원자시계 나노종합기술원; 박종철; 이종권 |