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전자 소자의 제조 방법 나노종합기술원; 강일석; 이종권; 김태현; 박종철 | |
MEMS 가변 축전기 어레이 장치 및 그 제조 방법 나노종합기술원; 박종철; 양충모; 윤석오; 김태현; 이종권; 임성규; 박상현 | |
멤스 소자 및 멤스 디바이스의 제조 방법 나노종합기술원; 오재섭; 이종권; 박종철; 김태현; 김광희 | |
칩 스케일 원자시계 나노종합기술원; 박종철; 이종권 | |
광학 필터 및 광학 필터의 제조 방법 나노종합기술원; 이종권; 오재섭; 유동은; 심갑섭; 박종철 | |
칩 스케일 원자시계 나노종합기술원; 박종철; 이종권; 김태현 | |
볼로미터 멤스 소자 및 볼로미터 멤스 소자의 제조 방법 나노종합기술원; 오재섭; 이종권; 박종철; 김태현; 김광희 |