Browse "RIMS Patents" by Author 임성규
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| InP 기판을 이용한 소자 제조 방법 나노종합기술원; 이종원; 김영수; 임성규; 노길선 |
| MEMS 가변 축전기 어레이 장치 및 그 제조 방법 나노종합기술원; 박종철; 양충모; 윤석오; 김태현; 이종권; 임성규; et al |
| 고 응답 멤스 디바이스 및 그 제조방법 임성규; 김영수; 김한흥; 임부택; 김태현; 김경태; 황욱중, 2014-06-11 |
| 멤스 디바이스 및 그 제조방법 나노종합기술원; 오재섭; 강민호; 이완규; 임성규; 김영수; 황욱중, 2017-11-28 |
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Type
- 1,492 Patent
Date issued
- 458 2010 - 2019
- 90 2000 - 2009
- 165 1990 - 1999
- 125 1981 - 1989