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유지 과정이 도입된 ALD 공정에 의한 무기막이 증착된 금속 촉매의 제조방법 및 그에 따라 제조된 금속 촉매 임성갑; 장원태; 최건우; 조영진; 김도흥; 우은지 |
황을 개시제로서 사용한 화학기상증착(sCVD)을 이용한 고분자막, 그 제조방법 및 제조장치 임성갑; 김도흥; 장원태; 최건우 |
硫黄を開始剤として使用した化学気相蒸着(sCVD)を用いた高分子膜とその製造方法及び製造装置 임성갑; 김도흥; 장원태; 최건우 |
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