학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 전기 및 전자공학과, 2011.2, [ v, 49 p. ]
microelectromechanical system (MEMS); variable capacitor; linearity; capacitance tuning ratio; 미세전자기계시스템; 가변 커패시터; 선형성; 정전용량 변화율; 지렛대 구동; levering actuator
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