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(A) study on the characteristics on TiN films deposited by PEALD using $TiCl_4$ = PEALD법으로 증착된 TiN 박막 특성에 관한 연구link Kwon, Jung-Dae; 권정대; et al, 한국과학기술원, 2002 |
(A) study on the two-step atomic layer deposition for TaN thin films = Two-step ALD 법을 이용한 TaN 박막 형성에 관한 연구link Kwon, Jung-Dae; 권정대; et al, 한국과학기술원, 2007 |
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