학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 신소재공학과, 2007.2, [ xii, 104 p. ]
tantalum nitride; two-step atomic layer deposition; Copper diffusion barrier; 구리 확산 방지막; 탄탈룸 나이트라이드; 2단계 원자층 증착법
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