학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 재료공학과, 2002.2, [ viii, 68 p. ]
titanium tetra-chloride; titanium nitride; plasma enhanced atomic layer deposition; diffusion barrier; 확산방지막; 타이타늄 테트라클로라이드; 티클; 타이타늄 나이트라이드; 플라즈마 원자층 단위 증착
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