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마이크로 게이지를 이용한 다결정 실리콘 박막의 열팽창계수의 측정 채정헌; 이재열; 강상원, 한국재료학회지, v.8, no.1, pp.85 - 91, 1998-01 |
스위치 소자용 열구동형 다결정 실리콘 마이크로브릿지의 열적 구동특성 연구 = A study on the actuations characteristics of thermally-driven polycrystalline silicon microbridge for switching device applicationslink 이재열; Lee, Jae-Youl; et al, 한국과학기술원, 1999 |
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