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Evaluation of equipment models of clustered photolithography tools for semiconductor fab simulation = 반도체 팹 시뮬레이션을 위한 클러스터 포토리소그래피 장비의 모델 평가link Park, Jung Yeon; 박중연; et al, 한국과학기술원, 2016 |
웨이퍼 제조 공정 레벨의 포토리소그래피 클러스터 장치 시뮬레이션을 제공하는 시뮬레이션 장치 및 이를 이용한 시뮬레이션 방법 제임스모리슨; 박중연; 배상윤; 박경수, 2018-06-05 |
출구 재귀 모델을 이용한 웨이퍼 제조 공정 레벨의 포토리소그래피 클러스터 장치 시뮬레이션을 제공하는 시뮬레이션 장치 및 이를 이용한 시뮬레이션 방법 제임스모리슨; 박중연; 박경수; 배상윤, 2018-07-31 |
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