웨이퍼 제조 공정 레벨의 포토리소그래피 클러스터 장치 시뮬레이션을 제공하는 시뮬레이션 장치 및 이를 이용한 시뮬레이션 방법A MODEL FOR AN APPARATUS OF CLUSTERED PHOTOLITHOGRAPHY FOR ACHIEVING FAB(WAFER FABRICATION FACILITIES)-LEVEL SIMULATION, AND A METHOD FOR SIMULATING USING IT
본 발명의 실시 예에 따른 시뮬레이션 장치는, 포토리소그래피 클러스터 장치 시뮬레이션을 위한 장치 모델을 결정하는 장치 모델 결정부; 상기 결정된 모델에 대응되는 파라미터를 산출하는 파라미터 산출부; 및 상기 산출된 파라미터를 이용하여, 시뮬레이션된 포토리소그래피 클러스터 장치를 구동하는 공정 시뮬레이션부를 포함하여, 웨이퍼 제조 공정(FAB) 레벨의 포토리소그래피 클러스터 장치 시뮬레이션을 제공한다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2018-06-05
- Application Date
- 2016-12-28
- Application Number
- 10-2016-0181434
- Registration Date
- 2018-06-05
- Registration Number
- 10-1866857-0000
- Appears in Collection
- IE-Patent(특허)
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