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Browse "College of Natural Sciences(자연과학대학)" by Author 이헌수

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1
A study on the characteristics of RF multi hole cathode CCP discharge in various noble gas = 복수 홀 전극 구조를 갖는 축전 결합 RF 방전 특성에 관한 연구link

Lee, Hun-su; 이헌수; et al, 한국과학기술원, 2011

2
(A) study on characteristics of $SF_6$／$O_2$ capacitive discharge with QMS and Langmuir probe = 사중극자 질량 분석기와 랑뮈어 탐침을 이용한 $SF_6$／$O_2$ 축전 결합 플라즈마의 특성에 관한 연구link

Lee, Hun-Su; 이헌수; et al, 한국과학기술원, 2006

3
기판 처리 장치, 기판 처리 방법, 예비 전극 구조체, 측정 전극 구조체, 및 공정 전극 구조체

장홍영; 이헌수, 2011-12-06

4
내부 안테나 구조체 및 플라즈마 발생 장치

장홍영; 이헌수, 2011-09-30

5
유체 분배 장치 및 유체 분배 방법

장홍영; 이헌수, 2011-12-26

6
유체 분배 장치 및 유체 분배 방법

장홍영; 이헌수, 2011-06-24

7
유체 분배 장치 및 유체 분배 방법

장홍영; 이헌수

8
이온빔 발생 장치 및 이온 빔 발생 방법

장홍영; 서상훈; 채수항; 박민; 이헌수, 2009-06-10

9
축전 결합 플라즈마 발생 장치 및 그 형성 방법

장홍영; 이헌수, 2012-05-23

10
축전 결합 플라즈마 발생 장치 및 축전 결합 플라즈마 발생 방법

장홍영; 이헌수, 2011-12-06

11
측정 패턴 구조체, 공정 패턴 구조체, 기판 처리 장치, 및 기판 처리 방법

장홍영; 이헌수, 2010-08-24

12
측정 패턴 구조체, 보정 구조체, 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법

장홍영; 이헌수, 2011-09-05

13
측정 패턴 구조체, 보정 구조체, 기판 처리 장치, 및 기판 처리 방법

장홍영; 이헌수, 2011-10-07

14
측정 패턴 구조체, 보정 구조체, 기판 처리 장치, 및 기판 처리 방법

장홍영; 이헌수

15
탄소나노튜브 패치, 그 제조 방법, 및 그 사용 방법

장홍영; 김종욱; 이헌수, 2010-10-28

16
플라즈마 발생장치 및 기판 처리장치

장홍영; 서상훈; 이헌수; 이윤성, 2011-12-09

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