유체 분배 장치 및 유체 분배 방법FLUID DISTRIBUTION APPARATUS AND FLUID DISTRIBUTION METHOD
본 발명은 유체 분배 장치 및 유체 분배 방법을 제공한다. 이 방법은 예비 단위 영역들을 포함하는 예비 유체 분배부를 이용하여 기판의 최적 공정 위치를 선택하고, 및 기판의 최적 공정 위치에 대응하는 예비 유체 분배부의 구조를 전사하여 유체 분배부를 제공하는 것을 포함한다. 예비 단위 영역들 각각은 위치에 따라 서로 다른 유량을 공급하는 스플릿 영역들을 포함한다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2011-12-26
- Application Date
- 2011-03-08
- Application Number
- 10-2011-0020169
- Registration Date
- 2011-12-26
- Registration Number
- 10-1101176-0000
- Appears in Collection
- PH-Patent(특허)
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